1 00:00:00,150 --> 00:00:01,530 - Det her er en mikrochip. 2 00:00:01,530 --> 00:00:05,010 Når du zoomer ind, finder du en nanoskopisk computerby, 3 00:00:05,010 --> 00:00:07,320 skyskrabere hundredvis af lag høje 4 00:00:07,320 --> 00:00:10,950 med hundredvis af kilometer ledninger, der forbinder alt. 5 00:00:10,950 --> 00:00:13,830 Og helt nederst er dette, 6 00:00:13,830 --> 00:00:14,913 transistorer, 7 00:00:15,810 --> 00:00:17,430 milliarder af dem. 8 00:00:17,430 --> 00:00:20,550 Det er dem og nuller på vores computer. 9 00:00:20,550 --> 00:00:22,080 Chippen virker ved at suse elektroner 10 00:00:22,080 --> 00:00:24,060 fra transistor til transistor, 11 00:00:24,060 --> 00:00:25,890 og jo mindre du kan lave de transistorer, 12 00:00:25,890 --> 00:00:27,420 jo mindre signalerne skal rejse, 13 00:00:27,420 --> 00:00:29,340 så jo hurtigere kan de beregne. 14 00:00:29,340 --> 00:00:32,550 Derudover kan du passe mere transistorer i samme område, 15 00:00:32,550 --> 00:00:35,460 resulterer i en meget mere kraftfuld chip. 16 00:00:35,460 --> 00:00:38,817 Så i over 50 år, transistorer blev mindre og mindre, 17 00:00:38,817 --> 00:00:41,190 og det nummer, du kunne passe på en chip fordoblet 18 00:00:41,190 --> 00:00:42,720 hvert andet år. 19 00:00:42,720 --> 00:00:44,490 Dette blev kendt som Moores lov, 20 00:00:44,490 --> 00:00:46,860 opkaldt efter Intels medstifter, Gordon Moore, 21 00:00:46,860 --> 00:00:49,590 efter at han bemærkede mønsteret tilbage i 1965, 22 00:00:49,590 --> 00:00:52,590 og det har været en af de vigtigste drivere af tech-industrien. 23 00:00:52,590 --> 00:00:53,970 Men omkring 2015, 24 00:00:53,970 --> 00:00:56,400 fremskridtet gik skrigende i stå, 25 00:00:56,400 --> 00:00:58,090 og vi er måske aldrig kommet forbi det 26 00:00:58,090 --> 00:01:02,250 hvis det ikke var for et enkelt firma der gør disse maskiner, 27 00:01:02,250 --> 00:01:04,800 maskinerne, der reddede Moores lov. 28 00:01:04,800 --> 00:01:06,030 - Hellig. 29 00:01:06,030 --> 00:01:08,490 - Det her er en video om det mest komplicerede 30 00:01:08,490 --> 00:01:11,250 kommercielt produkt menneskeheden nogensinde har bygget. 31 00:01:11,250 --> 00:01:12,690 - Det er sindssygt. 32 00:01:12,690 --> 00:01:15,150 - Det koster hele 400 millioner dollars, 33 00:01:15,150 --> 00:01:18,060 og det er så mærkeligt, at jeg ønsker at præsentere det for dig 34 00:01:18,060 --> 00:01:19,593 med et tankeeksperiment. 35 00:01:21,150 --> 00:01:22,800 Forestil dig, at du er skrumpet ned 36 00:01:22,800 --> 00:01:24,093 på størrelse med en myre, 37 00:01:25,170 --> 00:01:27,960 og du får en laser det er stærkt nok til at smelte 38 00:01:27,960 --> 00:01:29,760 gennem metal som smør. 39 00:01:29,760 --> 00:01:31,890 Dernæst en lille dråbe smeltet tin, 40 00:01:31,890 --> 00:01:33,900 stort set på størrelse med et hvidt blodlegeme, 41 00:01:33,900 --> 00:01:35,340 er skudt ud foran dig 42 00:01:35,340 --> 00:01:38,010 omkring 250 kilometer i timen. 43 00:01:38,010 --> 00:01:41,310 Og din opgave er at ramme dette ikke en gang, ikke to gange, 44 00:01:41,310 --> 00:01:44,130 men tre gange i en række på 20 mikrosekunder 45 00:01:44,130 --> 00:01:45,870 med din lille laser. 46 00:01:45,870 --> 00:01:48,450 Nå, det er præcis hvad denne maskine gør. 47 00:01:48,450 --> 00:01:51,690 Den rammer en lille blikdråbe tre gange i træk, 48 00:01:51,690 --> 00:01:55,350 varme hver enkelt op til over 220.000 Kelvin. 49 00:01:55,350 --> 00:01:59,100 Det er cirka 40 gange varmere end Solens overflade. 50 00:01:59,100 --> 00:02:01,230 Og det rammer ikke kun én dråbe, 51 00:02:01,230 --> 00:02:05,280 den rammer 50.000 dråber hvert eneste sekund. 52 00:02:05,280 --> 00:02:07,350 Hvor ofte går du glip af et laserskud? 53 00:02:07,350 --> 00:02:08,610 - Vi savner dem ikke. 54 00:02:08,610 --> 00:02:09,443 - Hvad? 55 00:02:09,443 --> 00:02:12,960 Du laver 150.000 laserskud i sekundet, 56 00:02:12,960 --> 00:02:14,370 og du savner ikke en? 57 00:02:14,370 --> 00:02:15,750 - Præcis. 58 00:02:15,750 --> 00:02:17,640 - Samme maskine indeholder også spejle 59 00:02:17,640 --> 00:02:21,240 det er måske bare det glatteste objekter i universet. 60 00:02:21,240 --> 00:02:23,580 Hvis du skalerer en op til jordens størrelse, 61 00:02:23,580 --> 00:02:24,930 så ville det største bump være 62 00:02:24,930 --> 00:02:27,090 ikke tykkere end et spillekort. 63 00:02:27,090 --> 00:02:28,980 Oven i købet er den i stand til at overlejre 64 00:02:28,980 --> 00:02:31,380 et lag af en chip perfekt oven på en anden 65 00:02:31,380 --> 00:02:34,410 og aldrig være væk med mere end fem atomer. 66 00:02:34,410 --> 00:02:35,700 Og det hele sker 67 00:02:35,700 --> 00:02:37,590 mens dele af maskinen pisker rundt 68 00:02:37,590 --> 00:02:40,130 ved accelerationer på over 20 Gs. 69 00:02:40,130 --> 00:02:40,963 (maskinen rasler). 70 00:02:40,963 --> 00:02:42,930 I 30 år troede næsten alle 71 00:02:42,930 --> 00:02:46,050 der rent faktisk bygger dette maskinen var umulig, 72 00:02:46,050 --> 00:02:48,090 og alligevel eksisterer den. 73 00:02:48,090 --> 00:02:51,630 Der er kun én virksomhed i verden, der kan klare det. 74 00:02:51,630 --> 00:02:53,670 Så hvad er dette firma og hvad er det 75 00:02:53,670 --> 00:02:56,100 denne umulige maskine de har bygget? 76 00:02:56,100 --> 00:02:58,020 Denne video er sponsoreret af Brilliant. 77 00:02:58,020 --> 00:03:00,390 Mere om dem i slutningen af ​​showet. 78 00:03:00,390 --> 00:03:01,830 Nu, lige som en hurtig side, 79 00:03:01,830 --> 00:03:04,290 producenterne af denne maskine sponsorerede faktisk ikke 80 00:03:04,290 --> 00:03:05,220 denne video. 81 00:03:05,220 --> 00:03:07,650 Vi troede bare, at videnskaben og teknik her var 82 00:03:07,650 --> 00:03:10,530 så fedt, at vi var nødt til det lave en video om det. 83 00:03:10,530 --> 00:03:12,744 Så lad os springe direkte ind. 84 00:03:12,744 --> 00:03:13,577 (upbeat musik) 85 00:03:13,577 --> 00:03:14,430 - [Derek] For at lave en mikrochip, begynder du 86 00:03:14,430 --> 00:03:16,860 ved at tage siliciumdioxid, normalt fra sand, 87 00:03:16,860 --> 00:03:19,140 og renser det til ultrarent, 88 00:03:19,140 --> 00:03:22,530 næsten 100% silicium bidder, 89 00:03:22,530 --> 00:03:25,590 som så smeltes om i en speciel ovn. 90 00:03:25,590 --> 00:03:28,770 Dernæst sænker du en lille frøkrystal ned i karret. 91 00:03:28,770 --> 00:03:30,750 Siliciumatomer binder sig til krystallen, 92 00:03:30,750 --> 00:03:32,610 udvide sin struktur. 93 00:03:32,610 --> 00:03:35,760 Så hæver du langsomt frøkrystal, mens du roterer den 94 00:03:35,760 --> 00:03:39,420 og dette resulterer i en stor, enkelt krystal silicium barre. 95 00:03:39,420 --> 00:03:41,536 - Det er her frøkrystallen ville være. 96 00:03:41,536 --> 00:03:42,695 Ja. - Og så trækker du den ud. 97 00:03:42,695 --> 00:03:43,539 - [Casper] Må jeg røre den? 98 00:03:43,539 --> 00:03:44,550 - Ja, det kan du. 99 00:03:44,550 --> 00:03:46,890 - Det ligner dig ikke ville kunne holde 100 00:03:46,890 --> 00:03:48,780 dette herfra. - Ja. 101 00:03:48,780 --> 00:03:50,220 - Det føles endda skrøbeligt. 102 00:03:50,220 --> 00:03:51,337 Like hvis du lidt. 103 00:03:51,337 --> 00:03:52,170 - [Person uden for kameraet] Snap den ikke. 104 00:03:52,170 --> 00:03:53,970 - Ja, jeg er bange for at bryde den. 105 00:03:53,970 --> 00:03:55,110 - Ja. 106 00:03:55,110 --> 00:03:56,670 - Han bruger mere magt. 107 00:03:56,670 --> 00:03:58,530 - [Derek] Barren er skær derefter i vafler 108 00:03:58,530 --> 00:04:02,040 med diamantwiresave, op til 5.000 af dem, 109 00:04:02,040 --> 00:04:05,070 hvorefter hver oblat er omhyggeligt poleret. 110 00:04:05,070 --> 00:04:07,590 Dernæst er det belagt med et lys følsomt materiale kaldet 111 00:04:07,590 --> 00:04:08,790 fotoresist. 112 00:04:08,790 --> 00:04:09,810 Der er forskellige slags, 113 00:04:09,810 --> 00:04:11,490 men i en positiv fotoresist, 114 00:04:11,490 --> 00:04:15,120 områder udsat for lys bliver svagere og mere opløselige. 115 00:04:15,120 --> 00:04:17,430 Så hvis du skinner lys gennem en mønstret maske, 116 00:04:17,430 --> 00:04:20,130 du kan selektivt svække dele af denne belægning. 117 00:04:20,130 --> 00:04:22,440 Derefter skyller du waferen med en basisløsning 118 00:04:22,440 --> 00:04:24,810 at vaske den eksponerede fotoresist væk, 119 00:04:24,810 --> 00:04:26,673 efterlader designet påtrykt. 120 00:04:27,810 --> 00:04:29,790 Så nu kan du faktisk vende dette mønster 121 00:04:29,790 --> 00:04:31,350 ind i fysiske strukturer. 122 00:04:31,350 --> 00:04:32,760 Dette gøres ofte ved ætsning 123 00:04:32,760 --> 00:04:34,200 ind i det udækkede silicium 124 00:04:34,200 --> 00:04:36,840 ved at bruge enten kemikalier eller plasma. 125 00:04:36,840 --> 00:04:39,030 Og så afsætter du et metal, som kobber, 126 00:04:39,030 --> 00:04:41,550 at udfylde de ætsede linjer. 127 00:04:41,550 --> 00:04:44,880 Som et sidste trin vasker du væk den resterende fotoresist, 128 00:04:44,880 --> 00:04:48,360 og nu har du lavet en enkelt lag af chippen. 129 00:04:48,360 --> 00:04:50,700 Vi har forenklet denne cyklus ned til hovedtrinene, 130 00:04:50,700 --> 00:04:53,100 belægge, blotlægge, ætse og afsætte. 131 00:04:53,100 --> 00:04:55,410 Det gentages for hvert enkelt chiplag, 132 00:04:55,410 --> 00:04:56,430 og afhængigt af chippen, 133 00:04:56,430 --> 00:04:59,520 der kunne være hvor som helst fra 10 til 100 lag. 134 00:04:59,520 --> 00:05:01,530 Det nederste lag er transistorerne. 135 00:05:01,530 --> 00:05:03,090 Dette er det mest komplicerede lag, 136 00:05:03,090 --> 00:05:04,830 kræver hundredvis af trin 137 00:05:04,830 --> 00:05:06,750 at alt skal være perfekt. 138 00:05:06,750 --> 00:05:09,150 De højere lag er lidt nemmere. 139 00:05:09,150 --> 00:05:12,420 Det er metaltrådene der bærer signaler og kraft. 140 00:05:12,420 --> 00:05:15,480 Til sidst den færdige wafer kan have hundredvis af chips, 141 00:05:15,480 --> 00:05:17,280 som derefter skæres i separate stykker, 142 00:05:17,280 --> 00:05:19,203 pakket og lagt i produkter. 143 00:05:20,130 --> 00:05:22,560 Men langt det sværeste og det mest afgørende skridt 144 00:05:22,560 --> 00:05:25,410 i processen er hvor du skinne lys gennem masken 145 00:05:25,410 --> 00:05:26,610 og på oblaten. 146 00:05:26,610 --> 00:05:28,200 Dette er fotolitografi, 147 00:05:28,200 --> 00:05:30,540 og det er fordi dette trin bestemmer 148 00:05:30,540 --> 00:05:33,600 hvor små du kan gøre funktionerne. 149 00:05:33,600 --> 00:05:35,220 - Umiddelbart virker det simpelt, 150 00:05:35,220 --> 00:05:36,870 lyset passerer gennem åbningerne 151 00:05:36,870 --> 00:05:39,570 og det bliver blokeret af alle de andre. 152 00:05:39,570 --> 00:05:42,600 Men som du prøver at udskrive mindre og mindre funktioner, 153 00:05:42,600 --> 00:05:44,760 hullerne i masken begynder at nærme sig 154 00:05:44,760 --> 00:05:45,990 lysets bølgelængde, 155 00:05:45,990 --> 00:05:48,450 og det giver problemer. 156 00:05:48,450 --> 00:05:49,530 - Og det kan vi faktisk vise 157 00:05:49,530 --> 00:05:52,445 fordi jeg tilfældigvis har en, dette er en maske. 158 00:05:52,445 --> 00:05:53,278 Dette er et sigtemiddel. 159 00:05:53,278 --> 00:05:55,110 - [Casper] Et sigtemiddel eller en maske bærer 160 00:05:55,110 --> 00:05:56,730 designet af et spånlag. 161 00:05:56,730 --> 00:05:59,580 Dette sigtemiddel er fyldt med mikroskopiske linjer og mellemrum, 162 00:05:59,580 --> 00:06:02,130 omkring 670 nanometer på tværs. 163 00:06:02,130 --> 00:06:03,840 - Og hvis jeg tager som en laserpointer, 164 00:06:03,840 --> 00:06:05,670 så dette er en rød laser. - Jep. 165 00:06:05,670 --> 00:06:08,220 - Hvis jeg skinner igennem det, så ser du det her. 166 00:06:10,530 --> 00:06:11,790 - [Casper] Laseren har en bølgelængde 167 00:06:11,790 --> 00:06:13,560 på omkring 650 nanometer. 168 00:06:13,560 --> 00:06:15,240 Når lys rammer trådkorset, 169 00:06:15,240 --> 00:06:18,150 dens bølgefronter bøjer sig som de passerer gennem hvert hul. 170 00:06:18,150 --> 00:06:21,810 Så hvert hul sender bølger ud der spreder sig og overlapper hinanden. 171 00:06:21,810 --> 00:06:24,930 Lad os nu lige se på lys fra disse to huller. 172 00:06:24,930 --> 00:06:26,880 Når toppene af en bølge står på linje 173 00:06:26,880 --> 00:06:28,500 med den andens trug, 174 00:06:28,500 --> 00:06:30,780 vi siger, at de to bølger er ude af fase 175 00:06:30,780 --> 00:06:32,190 og de ophæver hinanden, 176 00:06:32,190 --> 00:06:33,870 så du får mørke pletter, 177 00:06:33,870 --> 00:06:35,730 og når toppene er på linje med toppene, 178 00:06:35,730 --> 00:06:37,440 de to bølger er i fase. 179 00:06:37,440 --> 00:06:39,780 De lægger op, og du får lyspunkter. 180 00:06:39,780 --> 00:06:41,160 - Du kan få interferens. - Ja. 181 00:06:41,160 --> 00:06:43,590 - Ja, og det får du et diffraktionsmønster. 182 00:06:43,590 --> 00:06:45,840 - Nu er diffraktion uundgåelig. 183 00:06:45,840 --> 00:06:47,250 Så i stedet for at bekæmpe det, 184 00:06:47,250 --> 00:06:50,730 designere faktisk bruger det til få de mønstre, de ønsker. 185 00:06:50,730 --> 00:06:53,130 De arbejder lidt baglæns fra det endelige mønster 186 00:06:53,130 --> 00:06:54,510 de vil have på oblaten, 187 00:06:54,510 --> 00:06:56,220 og de designer slidserne 188 00:06:56,220 --> 00:06:57,690 så diffraktion vil ske 189 00:06:57,690 --> 00:07:01,230 på en sådan måde, at det skaber det mønster, de ønsker. 190 00:07:01,230 --> 00:07:03,540 - Du ser tre prikker, den midterste prik, 191 00:07:03,540 --> 00:07:04,560 det er den originale. 192 00:07:04,560 --> 00:07:05,820 Det er nulordenen. 193 00:07:05,820 --> 00:07:07,410 Og så til venstre og højre, 194 00:07:07,410 --> 00:07:10,110 du kan se den første og minus først. 195 00:07:10,110 --> 00:07:12,300 Nu, for at vi skal have det 196 00:07:12,300 --> 00:07:15,390 dette billede opløst på waferen, 197 00:07:15,390 --> 00:07:17,670 du skal fange nullet og det første 198 00:07:17,670 --> 00:07:19,440 og minus første ordre. 199 00:07:19,440 --> 00:07:20,940 - [Derek] Jo mindre du laver funktionerne, 200 00:07:20,940 --> 00:07:22,530 jo større denne vinkel, alfa, 201 00:07:22,530 --> 00:07:25,080 mellem nul og første orden bliver, 202 00:07:25,080 --> 00:07:28,980 så jo større dit objektiv har brug for at være til at fange lyset. 203 00:07:28,980 --> 00:07:32,490 Størrelsen på objektivet er beskrevet ved den numeriske blænde 204 00:07:32,490 --> 00:07:34,170 eller NA for kort, 205 00:07:34,170 --> 00:07:36,450 hvilket blot er synden i denne vinkel. 206 00:07:36,450 --> 00:07:37,740 Så jo større det er, 207 00:07:37,740 --> 00:07:40,260 jo mindre funktioner kan du udskrive. 208 00:07:40,260 --> 00:07:41,580 Men der er en hård grænse 209 00:07:41,580 --> 00:07:43,680 til hvor stort dit linsesystem kan være 210 00:07:43,680 --> 00:07:45,300 når denne vinkel er 90 grader 211 00:07:45,300 --> 00:07:47,370 og din numeriske blænde er én, 212 00:07:47,370 --> 00:07:49,620 hvor din linse skulle være uendelig. 213 00:07:49,620 --> 00:07:53,640 Heldigvis er der en andet, vi kan ændre. 214 00:07:53,640 --> 00:07:55,740 - Det er en rød laser. - [Casper] Ja. 215 00:07:55,740 --> 00:07:59,460 - Og en rød laser har en bølgelængde på 650 nanometer, 216 00:07:59,460 --> 00:08:00,750 ish, vil jeg sige. - [Casper] Ja. 217 00:08:00,750 --> 00:08:03,510 - Og hvis jeg tager en grøn laser 218 00:08:03,510 --> 00:08:05,407 og denne har en bølgelængde på 532, 219 00:08:07,230 --> 00:08:09,463 så kan du se, at de grønne prikker er 220 00:08:10,320 --> 00:08:13,650 tættere på afstanden end de røde prikker. 221 00:08:13,650 --> 00:08:14,640 - [Derek] Det er fordi lyset 222 00:08:14,640 --> 00:08:16,770 fra de to forskellige huller behøver ikke at rejse 223 00:08:16,770 --> 00:08:19,170 så langt at matche op i fase igen. 224 00:08:19,170 --> 00:08:21,540 Så ordrerne ender tættere på hinanden. 225 00:08:21,540 --> 00:08:22,770 Så med en mindre bølgelængde, 226 00:08:22,770 --> 00:08:26,340 du kan udskrive mindre mønstre ved hjælp af samme linse. 227 00:08:26,340 --> 00:08:28,770 Alt dette er fanget ved Rayleigh-ligningen, 228 00:08:28,770 --> 00:08:30,900 som bestemmer den mindste funktionsstørrelse 229 00:08:30,900 --> 00:08:32,163 eller kritisk dimension. 230 00:08:33,390 --> 00:08:34,920 - Men da der er en grænse 231 00:08:34,920 --> 00:08:37,230 til hvor meget du kan øge den numeriske blænde, 232 00:08:37,230 --> 00:08:38,460 Jeg mener til en, 233 00:08:38,460 --> 00:08:40,380 over tid, den eneste måde at blive ved med at lave 234 00:08:40,380 --> 00:08:42,540 mindre og mindre funktioner er 235 00:08:42,540 --> 00:08:44,580 ved at bruge kortere og kortere bølgelængder. 236 00:08:44,580 --> 00:08:46,500 Så det er præcis, hvad der skete 237 00:08:46,500 --> 00:08:48,270 indtil slutningen af 1990'erne, 238 00:08:48,270 --> 00:08:51,420 da industrien lagde sig på 193 nanometer 239 00:08:51,420 --> 00:08:53,190 dybt UV-lys. 240 00:08:53,190 --> 00:08:54,780 Dette var lyset, der blev brugt til at lave 241 00:08:54,780 --> 00:08:56,580 alle de mest avancerede chips 242 00:08:56,580 --> 00:08:58,740 indtil omkring 2015. 243 00:08:58,740 --> 00:09:01,410 Men på det tidspunkt, videnskabsmænd havde nået en grænse 244 00:09:01,410 --> 00:09:03,330 til hvor små de kunne lave funktionerne. 245 00:09:03,330 --> 00:09:06,810 Og Moores lov handlede om at løbe ind i en murstensvæg. 246 00:09:06,810 --> 00:09:08,970 Så en radikal forandring var nødvendig, 247 00:09:08,970 --> 00:09:12,183 en forandring der havde været brygget i omkring 30 år. 248 00:09:14,310 --> 00:09:16,050 Helt tilbage i 1980'erne, 249 00:09:16,050 --> 00:09:18,180 Japansk videnskabsmand, Hiroo Kinoshita, 250 00:09:18,180 --> 00:09:20,670 kom på en skør idé. 251 00:09:20,670 --> 00:09:22,650 Hvorfor ikke bruge meget kortere bølgelængder, 252 00:09:22,650 --> 00:09:25,080 som røntgenbilleder på omkring 10 nanometer? 253 00:09:25,080 --> 00:09:26,880 I teorien skulle det give dig mulighed for at udskrive 254 00:09:26,880 --> 00:09:28,530 meget mindre funktioner, 255 00:09:28,530 --> 00:09:30,780 men du løber hurtigt ind i et problem. 256 00:09:30,780 --> 00:09:32,250 Røntgenstråler ved disse bølgelængder har 257 00:09:32,250 --> 00:09:35,130 nok energi til at skubbe ud elektroner fra deres atomer, 258 00:09:35,130 --> 00:09:37,830 så de fleste materialer absorberer dem. 259 00:09:37,830 --> 00:09:39,930 Men i modsætning til medicinsk røntgenbilleder som har 260 00:09:39,930 --> 00:09:42,150 bølgelængder kortere end en nanometer, 261 00:09:42,150 --> 00:09:44,790 disse er stadig lange nok at interagere med luft. 262 00:09:44,790 --> 00:09:47,070 Så luft absorberer dem også. 263 00:09:47,070 --> 00:09:50,400 Det betød, at Kinoshita's opsætningen skulle være i et vakuum, 264 00:09:50,400 --> 00:09:51,540 men endnu værre, 265 00:09:51,540 --> 00:09:53,730 han kunne ikke bruge linser til at fokusere lyset 266 00:09:53,730 --> 00:09:55,803 fordi linserne også ville absorbere det. 267 00:09:57,240 --> 00:10:00,033 Så det virkede sådan her idé ville aldrig fungere. 268 00:10:01,290 --> 00:10:02,640 - [Derek] Men omkring 1983, 269 00:10:02,640 --> 00:10:04,110 Kinoshita snublede over et papir 270 00:10:04,110 --> 00:10:06,180 af Jim Underwood og Troy Barbee. 271 00:10:06,180 --> 00:10:08,160 Deres arbejde fokuserede på specielle spejle 272 00:10:08,160 --> 00:10:09,480 som kunne reflektere røntgenstråler 273 00:10:09,480 --> 00:10:12,360 med en bølgelængde på 4,48 nanometer. 274 00:10:12,360 --> 00:10:14,610 Så Kinoshita var fascineret. 275 00:10:14,610 --> 00:10:17,340 Buede spejle kan fokusere lys ligesom linser gør. 276 00:10:17,340 --> 00:10:18,540 Hvis han kunne finde ud af at lave 277 00:10:18,540 --> 00:10:21,030 disse specielle spejle til bølgelængden han brugte, 278 00:10:21,030 --> 00:10:24,060 så kunne dette være en anden måde at lave fotolitografi på. 279 00:10:24,060 --> 00:10:26,313 Spejlene fungerer sådan her. 280 00:10:27,690 --> 00:10:30,240 Når lyset krydser fra et medie til et andet, 281 00:10:30,240 --> 00:10:31,380 sige fra luft til glas, 282 00:10:31,380 --> 00:10:33,210 det bøjer eller bryder. 283 00:10:33,210 --> 00:10:36,030 Noget af det går igennem og en del reflekterer tilbage. 284 00:10:36,030 --> 00:10:38,790 Hvor meget der reflekteres afhænger af på ting som vinklen, 285 00:10:38,790 --> 00:10:40,290 lysets polarisering, 286 00:10:40,290 --> 00:10:42,120 og vigtigst af alt for os, 287 00:10:42,120 --> 00:10:44,160 forskellen mellem brydningsindekserne 288 00:10:44,160 --> 00:10:45,330 af de to medier. 289 00:10:45,330 --> 00:10:48,480 Jo større forskel er, jo mere lys reflekteres. 290 00:10:48,480 --> 00:10:51,300 Og Underwood og Barbee brugte det princip. 291 00:10:51,300 --> 00:10:53,520 De lavede et super tyndt lag wolfram, 292 00:10:53,520 --> 00:10:55,470 mindre end en nanometer tyk, 293 00:10:55,470 --> 00:10:57,480 tynd nok til at røntgenstråler kunne passere igennem 294 00:10:57,480 --> 00:10:59,520 uden at blive absorberet umiddelbart. 295 00:10:59,520 --> 00:11:02,250 Når røntgenstråler rammer laget i en bestemt vinkel, 296 00:11:02,250 --> 00:11:04,950 wolfram reflekterede mindre end 1%. 297 00:11:04,950 --> 00:11:07,380 Så er de forsigtigt justeret lagtykkelsen 298 00:11:07,380 --> 00:11:09,900 så vejlængden af overførte røntgenstråler var 299 00:11:09,900 --> 00:11:12,570 kun en fjerdedel af dens bølgelængde. 300 00:11:12,570 --> 00:11:15,870 Så tilføjede de endnu et lag, denne gang uden kulstof. 301 00:11:15,870 --> 00:11:17,970 Det har en højere brydning indeks end wolfram 302 00:11:17,970 --> 00:11:20,610 for bølgelængder på 4,48 nanometer. 303 00:11:20,610 --> 00:11:22,110 Røntgenbillederne rammer grænsen 304 00:11:22,110 --> 00:11:24,540 og lidt mere afspejler, 305 00:11:24,540 --> 00:11:26,520 men denne gang er fasen omvendt 306 00:11:26,520 --> 00:11:28,860 eller det er ændret med en halv bølgelængde. 307 00:11:28,860 --> 00:11:30,690 Dette sker, når noget lys bevæger sig 308 00:11:30,690 --> 00:11:33,750 fra en lavere brydning indeks til en højere. 309 00:11:33,750 --> 00:11:36,180 Nu, når det er nyt reflekteret bølge når 310 00:11:36,180 --> 00:11:37,200 wolfram grænsen, 311 00:11:37,200 --> 00:11:39,660 den har rejst en anden en fjerdedel af sin bølgelængde 312 00:11:39,660 --> 00:11:41,580 for en halv bølgelængde i alt. 313 00:11:41,580 --> 00:11:43,230 Så de to faser hænger sammen 314 00:11:43,230 --> 00:11:45,510 og bølgerne interfererer konstruktivt. 315 00:11:45,510 --> 00:11:47,400 Underwood og Barbee blev ved med at gøre dette trick 316 00:11:47,400 --> 00:11:50,130 for i alt 76 skiftende lag, 317 00:11:50,130 --> 00:11:52,140 så de i alt kunne reflektere tilbage 318 00:11:52,140 --> 00:11:54,033 meget mere af røntgenbillederne. 319 00:11:55,560 --> 00:11:57,000 Nu nåede de kun at reflektere 320 00:11:57,000 --> 00:11:58,500 omkring 6 % af lyset, 321 00:11:58,500 --> 00:12:00,210 men det var et principbevis 322 00:12:00,210 --> 00:12:02,103 at du kunne reflektere røntgenstråler. 323 00:12:03,150 --> 00:12:05,610 - Så Kinoshita så mulighederne. 324 00:12:05,610 --> 00:12:08,100 Han kom på arbejde, og efter omkring to år, 325 00:12:08,100 --> 00:12:09,450 hans team designet og bygget 326 00:12:09,450 --> 00:12:12,570 tre wolfram-carbon buede flerlagsspejle 327 00:12:12,570 --> 00:12:14,760 at reflektere 11 nanometer lys. 328 00:12:14,760 --> 00:12:16,590 Og med den nåede han at trykke 329 00:12:16,590 --> 00:12:20,160 linjer fire mikron eller 4.000 nanometer tyk, 330 00:12:20,160 --> 00:12:22,200 beviser, at i det mindste i teorien, 331 00:12:22,200 --> 00:12:24,453 røntgenlitografi var mulig. 332 00:12:25,410 --> 00:12:27,300 Et år senere i 1986, 333 00:12:27,300 --> 00:12:28,770 han gik for at præsentere sine resultater 334 00:12:28,770 --> 00:12:31,470 til det japanske samfund af anvendt fysik. 335 00:12:31,470 --> 00:12:33,270 Stolt og spændt forklarede han sit setup 336 00:12:33,270 --> 00:12:34,950 og viste sit billede. 337 00:12:34,950 --> 00:12:38,310 Men til hans rædsel, den publikum nægtede at tro på det. 338 00:12:38,310 --> 00:12:41,790 - [Kinoshita] Desværre, publikum var 339 00:12:41,790 --> 00:12:44,820 meget skeptisk over for min tale. 340 00:12:44,820 --> 00:12:46,770 - [Casper] Kinoshita var knust. 341 00:12:46,770 --> 00:12:49,650 Han sagde senere: "Folk virkede uvillig til at tro 342 00:12:49,650 --> 00:12:52,800 som vi faktisk havde lavet et billede ved at bøje røntgenstråler, 343 00:12:52,800 --> 00:12:54,720 og de var tilbøjelige til at betragte det hele 344 00:12:54,720 --> 00:12:56,157 som en stor fiskehistorie." 345 00:12:57,270 --> 00:13:00,450 - Ingen troede på det her var en farbar vej frem, 346 00:13:00,450 --> 00:13:02,850 og desværre var reaktionen 347 00:13:02,850 --> 00:13:05,070 i det mindste noget berettiget. 348 00:13:05,070 --> 00:13:07,260 For det første produceres dette lys ikke naturligt 349 00:13:07,260 --> 00:13:08,700 af noget på jorden. 350 00:13:08,700 --> 00:13:11,493 Den nærmeste naturlige kilde er Solen. 351 00:13:12,450 --> 00:13:17,450 - Vi skulle grundlæggende bygge en kunstig sol her på jorden. 352 00:13:17,460 --> 00:13:19,290 - [Derek] De fleste videnskabsmænd, inklusive Kinoshita, 353 00:13:19,290 --> 00:13:20,640 produceret røntgenlys vha 354 00:13:20,640 --> 00:13:23,220 en partikelaccelerator eller en synkrotron. 355 00:13:23,220 --> 00:13:25,230 - [Jos] Det giver en enorm mængde kraft. 356 00:13:25,230 --> 00:13:26,910 Den er så stor som en fodboldbane. 357 00:13:26,910 --> 00:13:28,410 Du kan brænde en hel fab. 358 00:13:28,410 --> 00:13:30,090 Problemet er, hvis lyset går ud, 359 00:13:30,090 --> 00:13:31,710 hele fab går ud. 360 00:13:31,710 --> 00:13:35,220 - Så hver maskine har brug for sin egen strømkilde. 361 00:13:35,220 --> 00:13:37,050 Men selvom du kunne frembringe lyset, 362 00:13:37,050 --> 00:13:39,480 du skal lave utrolig glatte spejle 363 00:13:39,480 --> 00:13:42,720 til rent faktisk at fokusere og udskrive de små funktioner. 364 00:13:42,720 --> 00:13:46,710 Du skal bruge den glatteste objekter i universet. 365 00:13:46,710 --> 00:13:48,270 - Okay, så jeg fik en fodbold 366 00:13:48,270 --> 00:13:50,850 og jeg har en hoppebold og en brostensbelagt gade. 367 00:13:50,850 --> 00:13:53,363 Hvad tror du nu er sker det, når jeg taber dem? 368 00:13:54,630 --> 00:13:56,550 Fodbolden i bund og grund hopper lige op, 369 00:13:56,550 --> 00:13:58,320 men for hoppebolden, 370 00:13:58,320 --> 00:13:59,760 den skyder bare ud til siden. 371 00:13:59,760 --> 00:14:02,220 Og det er fordi overfladen er forholdsvis flad 372 00:14:02,220 --> 00:14:04,050 for fodbolden, som er meget større, 373 00:14:04,050 --> 00:14:06,660 men det er super groft for hoppebolden. 374 00:14:06,660 --> 00:14:08,850 Og en lignende ting sker med spejle. 375 00:14:08,850 --> 00:14:10,650 Hvis overfladen er super ru 376 00:14:10,650 --> 00:14:12,300 sammenlignet med størrelsen af bølgelængden, 377 00:14:12,300 --> 00:14:14,670 så spredes lyset tilfældigt. 378 00:14:14,670 --> 00:14:16,050 Nu ser det måske glat ud, 379 00:14:16,050 --> 00:14:17,310 men hvis du zoomer ind i et spejl, 380 00:14:17,310 --> 00:14:19,440 du finder noget, der ser sådan ud, 381 00:14:19,440 --> 00:14:22,200 du finder alle disse skøre buler. 382 00:14:22,200 --> 00:14:23,520 Og nu for at måle ruheden, 383 00:14:23,520 --> 00:14:26,490 det du gør er at du tager gennemsnittet af disse bump 384 00:14:26,490 --> 00:14:28,200 og det vil give dig din gennemsnitlige linje. 385 00:14:28,200 --> 00:14:30,240 Nu, for et normalt husholdningsspejl, 386 00:14:30,240 --> 00:14:33,153 gennemsnitshøjden er omkring 4.000 siliciumatomer. 387 00:14:34,320 --> 00:14:36,150 Men for Kinoshitas spejle, 388 00:14:36,150 --> 00:14:38,250 som ikke kun havde brug for at reflektere røntgenlys, 389 00:14:38,250 --> 00:14:40,410 som har 100 gange kortere bølgelængde, 390 00:14:40,410 --> 00:14:42,360 men også nødvendigt for at minimere spredning, 391 00:14:42,360 --> 00:14:45,060 du ved, så alle fotoner kommer ind på waferen, 392 00:14:45,060 --> 00:14:47,190 det skulle være meget mere glat. 393 00:14:47,190 --> 00:14:49,170 Det skulle være atomisk glat. 394 00:14:49,170 --> 00:14:51,120 Faktisk kunne den gennemsnitlige bump kun være 395 00:14:51,120 --> 00:14:54,270 omkring 2,3 siliciumatomer tyk. 396 00:14:54,270 --> 00:14:56,790 - Hvis et spejl ville være på størrelse med Tyskland, 397 00:14:56,790 --> 00:14:59,280 det største bump ville være omkring en millimeter høj. 398 00:14:59,280 --> 00:15:01,680 - [Casper] Men Kinoshita nægtede at give op. 399 00:15:01,680 --> 00:15:04,020 - [Kinoshita] Men, min tro ændrede sig ikke. 400 00:15:04,020 --> 00:15:08,220 - [Casper] Og snart ville der hjælpe kommer fra et usandsynligt sted. 401 00:15:08,220 --> 00:15:09,150 - På tværs af Stillehavet, 402 00:15:09,150 --> 00:15:11,610 omkring 70 kilometer øst for San Francisco er 403 00:15:11,610 --> 00:15:13,470 Lawrence Livermore National Lab, 404 00:15:13,470 --> 00:15:15,540 et laboratorium, der blev født ud af den kolde krig, 405 00:15:15,540 --> 00:15:17,370 stærkt finansieret af den amerikanske regering, 406 00:15:17,370 --> 00:15:20,400 og bygget til ét formål og kun ét formål, 407 00:15:20,400 --> 00:15:22,170 atomvåben. 408 00:15:22,170 --> 00:15:24,930 Laboratoriet blev grundlagt af opfinder af cyklotronen, 409 00:15:24,930 --> 00:15:26,010 Ernest Lawrence, 410 00:15:26,010 --> 00:15:28,680 og faderen til brintbombe, Edward Teller. 411 00:15:28,680 --> 00:15:30,450 Og i løbet af dens levetid har de designet 412 00:15:30,450 --> 00:15:33,210 over 10 atomsprænghoveder af fusionstype. 413 00:15:33,210 --> 00:15:34,740 Så en del af deres forskning fokuserede 414 00:15:34,740 --> 00:15:38,460 på hvad der sker indeni nukleare fusionsreaktioner. 415 00:15:38,460 --> 00:15:41,070 Fusionsreaktioner frigives meget røntgenlys, 416 00:15:41,070 --> 00:15:44,550 lys, som de aldrig havde været i stand til at fange og analysere. 417 00:15:44,550 --> 00:15:47,670 Men nu bruger du dem specielle flerlagsspejle, 418 00:15:47,670 --> 00:15:49,470 der var en chance. 419 00:15:49,470 --> 00:15:50,970 - [Casper] En af de videnskabsmænd, der havde til opgave 420 00:15:50,970 --> 00:15:53,400 med at lave dette arbejde var Andrew Hawryluk. 421 00:15:53,400 --> 00:15:54,840 Og inden for få år, 422 00:15:54,840 --> 00:15:57,450 han og hans hold brugte flerlagsspejle til at reflektere 423 00:15:57,450 --> 00:15:59,310 noget røntgenlys. 424 00:15:59,310 --> 00:16:01,020 Men så i 1987, 425 00:16:01,020 --> 00:16:04,020 Andy fik besøg af en professor fra Cornell. 426 00:16:04,020 --> 00:16:05,940 - Han var meget imponeret med teknologierne 427 00:16:05,940 --> 00:16:06,773 som vi udviklede. 428 00:16:06,773 --> 00:16:08,677 Og han så på mig slutningen af dagen og sagde, 429 00:16:08,677 --> 00:16:11,010 "Det hele er meget interessant og meget pænt og sådan noget," 430 00:16:11,010 --> 00:16:14,707 men hans ord, og jeg vil huske det til den dag jeg døde, var, 431 00:16:14,707 --> 00:16:16,957 "Kan du gøre noget nyttigt med disse ting?" 432 00:16:18,279 --> 00:16:22,290 Og det var dagen før en julestop i 1987. 433 00:16:22,290 --> 00:16:25,680 Og jeg blev så opildnet over den kommentar 434 00:16:25,680 --> 00:16:28,290 at jeg gik hjem og de næste 10 dage, 435 00:16:28,290 --> 00:16:31,140 Jeg skrev en hvidbog på flere sider. 436 00:16:31,140 --> 00:16:33,060 - [Casper] Han brugte disse spejle til litografi, 437 00:16:33,060 --> 00:16:35,100 at printe chips ved hjælp af røntgenstråler. 438 00:16:35,100 --> 00:16:38,040 Omkring fem måneder senere, Andy præsenterede sine resultater 439 00:16:38,040 --> 00:16:39,600 på en konference. 440 00:16:39,600 --> 00:16:42,060 Men ligesom Kinoshita, det var ikke svaret 441 00:16:42,060 --> 00:16:43,203 han håbede på. 442 00:16:44,130 --> 00:16:47,040 - Det var ekstremt negativt. 443 00:16:47,040 --> 00:16:48,873 Det var lavpunktet i min karriere. 444 00:16:49,920 --> 00:16:52,320 Jeg blev bogstaveligt talt til grin fra scenen. 445 00:16:52,320 --> 00:16:56,700 Og jeg nørder dig ikke, hver person, som jeg så op til 446 00:16:56,700 --> 00:16:57,533 i marken, 447 00:16:57,533 --> 00:16:58,620 de lyttede til min tale 448 00:16:58,620 --> 00:17:00,750 og de kom hen til mikrofonen 449 00:17:00,750 --> 00:17:04,320 og fortalte mig dybest set hvorfor det ikke ville virke, 450 00:17:04,320 --> 00:17:06,900 hvor var det en dum idé. 451 00:17:06,900 --> 00:17:09,780 Senere på ugen fløj jeg tilbage og den følgende mandag, 452 00:17:09,780 --> 00:17:11,757 min chef spurgte mig: "Hvordan gik det?" 453 00:17:12,660 --> 00:17:13,957 Og jeg så på ham og sagde: 454 00:17:13,957 --> 00:17:15,867 "Jeg vil aldrig tale om det igen." 455 00:17:16,756 --> 00:17:18,810 (uptempo musik) 456 00:17:18,810 --> 00:17:20,400 - [Casper] Men så tre dage senere, 457 00:17:20,400 --> 00:17:23,700 han får et telefonopkald fra en der hedder Bill Brinkman 458 00:17:23,700 --> 00:17:25,564 fra Bell Labs. 459 00:17:25,564 --> 00:17:27,277 - [Andy] Og så gik jeg over til min chef og jeg sagde, 460 00:17:27,277 --> 00:17:29,370 "Fik lige dette telefonopkald fra en fyr ved navn Bill Brinkman. 461 00:17:29,370 --> 00:17:30,540 Ved du hvem han er?" 462 00:17:30,540 --> 00:17:32,647 Og min chefs øjne sprang op og sagde: 463 00:17:32,647 --> 00:17:35,910 "Ja, han er Executive Vicepræsident for ATandT." 464 00:17:35,910 --> 00:17:37,620 Og jeg sagde: "Nå, han ringede lige til mig 465 00:17:37,620 --> 00:17:41,220 og bad mig flyve ud til New Jersey og hold en snak." 466 00:17:41,220 --> 00:17:44,223 Svaret fra min chef sagde det hele. 467 00:17:45,150 --> 00:17:47,277 Han sagde dybest set: "Nå, du skal gå." 468 00:17:48,360 --> 00:17:50,760 - [Casper] Hos Bell Labs, Andy fandt sine trosfæller 469 00:17:50,760 --> 00:17:53,220 og det kunne det ikke komme på et bedre tidspunkt. 470 00:17:53,220 --> 00:17:54,510 I løbet af de sidste 30 år, 471 00:17:54,510 --> 00:17:55,980 den amerikanske regering havde investeret 472 00:17:55,980 --> 00:17:58,800 milliarder af dollars ind nationale laboratorier at vedligeholde 473 00:17:58,800 --> 00:18:02,340 landets teknologiske kant under den kolde krig. 474 00:18:02,340 --> 00:18:03,930 Men i slutningen af 1980'erne, 475 00:18:03,930 --> 00:18:05,970 den kolde krig var ved at bremse 476 00:18:05,970 --> 00:18:08,070 og alle disse laboratorier var sidder på research 477 00:18:08,070 --> 00:18:09,930 der havde kommercielt potentiale. 478 00:18:09,930 --> 00:18:12,360 Så regeringen opmuntrede laboratorierne til partner 479 00:18:12,360 --> 00:18:13,980 med amerikanske virksomheder 480 00:18:13,980 --> 00:18:15,840 at omsætte den forskning til produkter 481 00:18:15,840 --> 00:18:17,640 og stimulere økonomien. 482 00:18:17,640 --> 00:18:20,220 Og det ville regeringen så levere frøpenge. 483 00:18:20,220 --> 00:18:23,580 Og så gik Bell Labs sammen med Andys laboratorier og to andre 484 00:18:23,580 --> 00:18:25,773 at blive ved med at udvikle røntgenlitografi. 485 00:18:27,180 --> 00:18:28,377 Og i 1993 486 00:18:28,377 --> 00:18:32,040 den første internationale konference til røntgenlitografi var 487 00:18:32,040 --> 00:18:34,740 afholdt i Japan, nær Mount Fuji. 488 00:18:34,740 --> 00:18:36,810 I åbningstalen sagde Kinoshita 489 00:18:36,810 --> 00:18:39,600 at, "Så længe vi mister ikke lysten 490 00:18:39,600 --> 00:18:41,130 der er udsprunget inde fra os, 491 00:18:41,130 --> 00:18:42,900 teknologien vil støt udvikle sig 492 00:18:42,900 --> 00:18:46,560 fra mikro til nano til pico." 493 00:18:46,560 --> 00:18:48,720 De gav endda teknologien et nyt navn, 494 00:18:48,720 --> 00:18:51,030 ekstrem ultraviolet litografi, 495 00:18:51,030 --> 00:18:52,503 eller bare EUV. 496 00:18:53,850 --> 00:18:55,380 - Men så i 1996, 497 00:18:55,380 --> 00:18:58,350 den amerikanske regering skåret ned midler til projektet. 498 00:18:58,350 --> 00:19:02,070 Dette betød katastrofe for store chip-virksomheder som Intel. 499 00:19:02,070 --> 00:19:03,360 Industrien vurderede 500 00:19:03,360 --> 00:19:06,300 at de 193 nanometer litografiværktøjer ville falde 501 00:19:06,300 --> 00:19:09,330 bag Moores lov i 2005, 502 00:19:09,330 --> 00:19:12,093 men der var ingen andre alternativer. 503 00:19:13,470 --> 00:19:16,860 Så Intel, Motorola, AMD og andre virksomheder fandt sammen 504 00:19:16,860 --> 00:19:19,980 og investerede $250 millioner for at holde det i gang, 505 00:19:19,980 --> 00:19:21,930 gør det til den største investering nogensinde 506 00:19:21,930 --> 00:19:23,250 af den private industri 507 00:19:23,250 --> 00:19:26,130 i en afdeling af Energiforskningsprojekt. 508 00:19:26,130 --> 00:19:28,620 I år 2000 blev laboratorier havde produceret dette, 509 00:19:28,620 --> 00:19:30,450 Engineering Test Stand. 510 00:19:30,450 --> 00:19:33,660 Det var den første fuldt ud fungerende EUV prototype. 511 00:19:33,660 --> 00:19:38,100 Den producerede 9,8 watt 13,4 nanometer EUV lys, 512 00:19:38,100 --> 00:19:40,140 som så blev reflekteret af otte spejle 513 00:19:40,140 --> 00:19:42,540 fra kilden til masken til waferen. 514 00:19:42,540 --> 00:19:44,700 Det kunne udskrive 70 nanometer funktioner 515 00:19:44,700 --> 00:19:47,283 og det beviste, at EUV kunne fungere. 516 00:19:48,490 --> 00:19:49,323 - Det var en milepæl at få 517 00:19:49,323 --> 00:19:50,700 Engineering Test Stand til at arbejde. 518 00:19:50,700 --> 00:19:52,890 Det demonstrerede for folk som Intel 519 00:19:52,890 --> 00:19:56,010 det, du ved, godt teknik vil bringe os derhen. 520 00:19:56,010 --> 00:19:58,950 - Og så virker det som du har prototypen, 521 00:19:58,950 --> 00:20:02,163 burde ikke være for svært så kommercialisere det. 522 00:20:03,000 --> 00:20:04,281 - Det troede de. 523 00:20:04,281 --> 00:20:05,550 (Andy og Casper griner) 524 00:20:05,550 --> 00:20:07,560 - Men prototypen havde en stor fejl. 525 00:20:07,560 --> 00:20:10,200 Den kunne kun udskrives omkring 10 wafers i timen. 526 00:20:10,200 --> 00:20:12,540 Og for at gøre EUV økonomisk rentabel, 527 00:20:12,540 --> 00:20:15,090 den skulle udskrives hundredvis af wafers i timen, 528 00:20:15,090 --> 00:20:18,570 24/7, 365 dage om året. 529 00:20:18,570 --> 00:20:20,880 Hovedårsagen til, at output var så langsomt, var 530 00:20:20,880 --> 00:20:23,130 fordi lyset reflekterede ud af otte spejle 531 00:20:23,130 --> 00:20:24,030 og trådkorset, 532 00:20:24,030 --> 00:20:27,480 som også er et spejl, bare med designet påtrykt. 533 00:20:27,480 --> 00:20:29,820 Traditionelle masker, der lade lyset trænge igennem 534 00:20:29,820 --> 00:20:32,420 virker ikke, fordi, ja, de absorberer alt lyset. 535 00:20:33,540 --> 00:20:36,300 Hvert spejl havde en reflektivitet på omkring 70 %, 536 00:20:36,300 --> 00:20:37,830 som er tæt på max, 537 00:20:37,830 --> 00:20:39,330 men efter ni afvisninger, 538 00:20:39,330 --> 00:20:42,240 du er kun tilbage med 4% af lyset, 539 00:20:42,240 --> 00:20:45,150 hvilket betyder, at ud af hver 100 fotoner, 540 00:20:45,150 --> 00:20:47,163 kun fire når oblaten. 541 00:20:48,180 --> 00:20:51,510 Så du tænker måske bare bruge langt færre spejle, 542 00:20:51,510 --> 00:20:53,670 men det virker kun op til et punkt. 543 00:20:53,670 --> 00:20:56,010 Når du fokuserer lyset med ethvert optisk system, 544 00:20:56,010 --> 00:20:58,140 du får altid noget forvrængning. 545 00:20:58,140 --> 00:21:00,570 For eksempel stråler, der passerer gennem yderkanterne 546 00:21:00,570 --> 00:21:02,790 af de fleste objektiver fokuserer lys lidt anderledes 547 00:21:02,790 --> 00:21:04,020 fra dem nær centrum. 548 00:21:04,020 --> 00:21:06,060 Dette kaldes sfærisk aberration. 549 00:21:06,060 --> 00:21:07,920 Og normale kameraer retter til dette 550 00:21:07,920 --> 00:21:10,827 og andre afvigelser ved brug af flere linser. 551 00:21:10,827 --> 00:21:12,960 Og et spejlsystem er ikke anderledes. 552 00:21:12,960 --> 00:21:16,050 - Du skal have en en vis mængde spejle 553 00:21:16,050 --> 00:21:20,490 før du kan sige, at jeg har min aberrationer under kontrol. 554 00:21:20,490 --> 00:21:24,510 I virkeligheden systemerne i dag har seks spejle. 555 00:21:24,510 --> 00:21:25,830 - Det hjælper lidt. 556 00:21:25,830 --> 00:21:29,040 Men efter at have reflekteret seks spejle og sigtekorset, 557 00:21:29,040 --> 00:21:32,220 du er stadig kun tilbage med omkring 8 % af dit lys. 558 00:21:32,220 --> 00:21:34,230 Så de skulle øges drastisk 559 00:21:34,230 --> 00:21:36,810 kildeeffekten til mindst 100 watt. 560 00:21:36,810 --> 00:21:38,340 Nu til de fleste virksomheder, 561 00:21:38,340 --> 00:21:41,010 den tidobling syntes umulig. 562 00:21:41,010 --> 00:21:43,620 Selv folk, der arbejdede på Engineering Test Stand noteret 563 00:21:43,620 --> 00:21:47,190 det mens EUV-teknologi i sig selv er en færdig aftale, 564 00:21:47,190 --> 00:21:50,220 der var seks zillion tekniske udfordringer 565 00:21:50,220 --> 00:21:52,710 at gøre det til en fantastisk virkelighed. 566 00:21:52,710 --> 00:21:54,330 Og så en efter en, 567 00:21:54,330 --> 00:21:56,160 Amerikanske virksomheder gik væk 568 00:21:56,160 --> 00:21:59,220 fra at udvikle en fuld EUV litografi maskine. 569 00:21:59,220 --> 00:22:02,373 Det efterlod kun én virksomhed, ASML. 570 00:22:03,605 --> 00:22:04,770 ASML, som før stod for 571 00:22:04,770 --> 00:22:07,110 Avanceret halvleder Materiale litografi, 572 00:22:07,110 --> 00:22:10,320 er placeret i en lille, ubestemmelig by i Holland. 573 00:22:10,320 --> 00:22:12,480 Det stammede fra Philips tilbage i 80'erne 574 00:22:12,480 --> 00:22:13,800 med lidt mere end et skur 575 00:22:13,800 --> 00:22:16,680 og en knapt fungerende wafer stepper til sit navn. 576 00:22:16,680 --> 00:22:18,973 Men Philips gav dem også mennesker, 577 00:22:18,973 --> 00:22:21,120 Jos Benschop, ASMLs første forsker, 578 00:22:21,120 --> 00:22:22,590 og Martin van den Brink, 579 00:22:22,590 --> 00:22:25,200 som i sidste ende ville blive ASML's CTO, 580 00:22:25,200 --> 00:22:27,720 og EUV's største mester. 581 00:22:27,720 --> 00:22:30,300 - Og han er virkelig som den Steve Jobs af litografi. 582 00:22:30,300 --> 00:22:32,040 Og han så EUV komme. 583 00:22:32,040 --> 00:22:35,070 - ASML var tilsluttet USA EUV-konsortium tidligere 584 00:22:35,070 --> 00:22:37,950 og nu blev det deres opgave at finde en vej 585 00:22:37,950 --> 00:22:39,480 at kommercialisere EUV. 586 00:22:39,480 --> 00:22:42,060 De ville arbejde sammen med deres tyske partner, Zeiss, 587 00:22:42,060 --> 00:22:43,830 hvor Zeiss ville tage pleje af spejlene, 588 00:22:43,830 --> 00:22:47,250 og ASML ville fokusere på lyskilden. 589 00:22:47,250 --> 00:22:48,900 En af de første beslutninger, når man træffer 590 00:22:48,900 --> 00:22:52,890 ethvert litografisystem er beslutte hvilken bølgelængde der skal bruges. 591 00:22:52,890 --> 00:22:54,420 - I de tidlige dage, alt imellem 592 00:22:54,420 --> 00:22:57,690 fem og 14 nanometer blev undersøgt. 593 00:22:57,690 --> 00:23:00,750 Sagen er, at du skal finde en kilde 594 00:23:00,750 --> 00:23:02,610 og du skal finde optik, der afspejler 595 00:23:02,610 --> 00:23:03,630 bølgelængderne. - rigtigt. 596 00:23:03,630 --> 00:23:05,370 - Så man skal lede efter kombinationen. 597 00:23:05,370 --> 00:23:07,080 - Underwood og Barbee havde allerede lavet 598 00:23:07,080 --> 00:23:09,930 spejle, der kunne reflektere lys på omkring fire nanometer. 599 00:23:09,930 --> 00:23:11,940 Og da den bølgelængde er så lille, 600 00:23:11,940 --> 00:23:14,310 det virker som det oplagte valg, 601 00:23:14,310 --> 00:23:16,710 men den maksimale reflektionsevne for de spejle var 602 00:23:16,710 --> 00:23:18,120 kun omkring 20 %. 603 00:23:18,120 --> 00:23:21,330 Så efter at have slået seks spejle og trådkorset, 604 00:23:21,330 --> 00:23:26,330 du er bare tilbage med 0,00128% af lyset, 605 00:23:26,700 --> 00:23:28,800 hvilket er alt for lavt. 606 00:23:28,800 --> 00:23:30,900 Heldigvis videre forskere kiggede også 607 00:23:30,900 --> 00:23:32,670 ved to andre par, 608 00:23:32,670 --> 00:23:34,140 silicium og molybdæn, 609 00:23:34,140 --> 00:23:37,800 som havde en teoretisk maksimal reflektionsevne på 70 % 610 00:23:37,800 --> 00:23:40,080 for bølgelængder omkring 13 nanometer, 611 00:23:40,080 --> 00:23:42,480 og molybdæn og beryllium 612 00:23:42,480 --> 00:23:46,110 med et teoretisk maksimum refleksionsevne på 80 % 613 00:23:46,110 --> 00:23:48,300 for bølgelængder omkring 11 nanometer. 614 00:23:48,300 --> 00:23:50,610 Så valget virkede indlysende, ikke? 615 00:23:50,610 --> 00:23:52,260 Jeg mener, vælg den kortere bølgelængde 616 00:23:52,260 --> 00:23:53,760 og den højere reflektionsevne. 617 00:23:53,760 --> 00:23:57,360 Men det viser sig at beryllium er ekstremt giftigt 618 00:23:57,360 --> 00:23:59,310 og det er også svært at håndtere. 619 00:23:59,310 --> 00:24:03,720 Så forskerne fokuserede på silicium og molybdæn i stedet. 620 00:24:03,720 --> 00:24:07,110 Til at lave spejlene brugte Zeiss en proces kaldet sputtering. 621 00:24:07,110 --> 00:24:09,000 Et mål for belægningsmateriale er 622 00:24:09,000 --> 00:24:11,790 bombarderet med enten plasma eller ioner, 623 00:24:11,790 --> 00:24:14,190 får atomer til at blive udstødt, flyve væk 624 00:24:14,190 --> 00:24:15,960 og hold dig til spejlet. 625 00:24:15,960 --> 00:24:17,460 Dette er en rodet proces, 626 00:24:17,460 --> 00:24:20,760 så lagene ender med buler og huller. 627 00:24:20,760 --> 00:24:22,950 - Det var der faktisk et fint trick 628 00:24:22,950 --> 00:24:26,520 holdet i Holland perfektioneret med ionstråle. 629 00:24:26,520 --> 00:24:28,320 Du ryster den bare lidt 630 00:24:28,320 --> 00:24:31,115 indtil atomerne falder i hul, hvor det skal være 631 00:24:31,115 --> 00:24:32,460 og så er det hele fladt. 632 00:24:32,460 --> 00:24:34,260 - [Casper] Med spejldesign låst ind, 633 00:24:34,260 --> 00:24:37,939 ASML havde brug for en kilde til den specifikke bølgelængde. 634 00:24:37,939 --> 00:24:40,261 - Så det var 13.x. - Ja. 635 00:24:40,261 --> 00:24:43,074 - Okay, nu det næste gode spørgsmålet er hvad er x? 636 00:24:43,074 --> 00:24:45,390 Nu leder du efter kilden. 637 00:24:45,390 --> 00:24:48,750 Så der er i bund og grund tre måder at generere EUV på, 638 00:24:48,750 --> 00:24:52,091 at bygge en sol på jorden. 639 00:24:52,091 --> 00:24:54,030 - [Casper] Den første metode som tidlige forskere brugte 640 00:24:54,030 --> 00:24:55,200 var synkrotronen, 641 00:24:55,200 --> 00:24:56,610 men det blev hurtigt udelukket 642 00:24:56,610 --> 00:24:59,760 fordi hver maskine havde brug for sin egen kilde. 643 00:24:59,760 --> 00:25:02,310 De to andre metoder er baseret på samme princip. 644 00:25:02,310 --> 00:25:04,800 Når en elektron rekombinerer med en ion, 645 00:25:04,800 --> 00:25:07,290 ionen falder til et lavere energiniveau 646 00:25:07,290 --> 00:25:10,080 og det frigiver det overskydende energi som en foton. 647 00:25:10,080 --> 00:25:12,810 Og hvis du vælger den helt rigtige ion, 648 00:25:12,810 --> 00:25:16,380 så vil den foton have præcis den bølgelængde du har brug for. 649 00:25:16,380 --> 00:25:19,200 Nu er der to måder du kan skabe disse ioner. 650 00:25:19,200 --> 00:25:20,730 Den første er du tager et metal, 651 00:25:20,730 --> 00:25:22,470 varm det op, indtil du får en metaldamp, 652 00:25:22,470 --> 00:25:26,010 og så anvender du en stærk elektrisk felt på tværs af det. 653 00:25:26,010 --> 00:25:28,830 Dette forårsager frie elektroner at banke ind i nærliggende atomer 654 00:25:28,830 --> 00:25:30,093 og ioniser dem. 655 00:25:30,960 --> 00:25:32,880 Hvis du derefter slukker for det elektriske felt, 656 00:25:32,880 --> 00:25:36,540 elektronerne rekombinerer med ionerne og producerer lys. 657 00:25:36,540 --> 00:25:39,360 Dette er udledningsproduceret plasma. 658 00:25:39,360 --> 00:25:40,950 - [Jos] Det er det koncept, vi bruger først. 659 00:25:40,950 --> 00:25:41,910 - [Casper] Ja. - På grund af det 660 00:25:41,910 --> 00:25:43,530 relativ enkelhed. 661 00:25:43,530 --> 00:25:46,260 Og vi fik den hurtigt op på et par watt. 662 00:25:46,260 --> 00:25:49,800 Vi ville have 100 watt og vi kæmpede for evigt. 663 00:25:49,800 --> 00:25:51,523 - Så man kunne ikke skalere det. 664 00:25:51,523 --> 00:25:52,356 - Vi kunne ikke skalere det. 665 00:25:52,356 --> 00:25:54,300 - De havde brug for en drastisk forandring. 666 00:25:54,300 --> 00:25:56,490 Så de skiftede til den anden metode. 667 00:25:56,490 --> 00:25:58,530 Denne metode bruger en kraftig laser 668 00:25:58,530 --> 00:26:00,150 at ramme et målmateriale, 669 00:26:00,150 --> 00:26:01,170 skabe et plasma 670 00:26:01,170 --> 00:26:04,980 det er mere end 220.000 grader celsius varmt. 671 00:26:04,980 --> 00:26:06,750 Elektronerne har så meget energi 672 00:26:06,750 --> 00:26:09,210 at kernen ikke kan hold fast i dem længere, 673 00:26:09,210 --> 00:26:12,750 og op til 14 elektroner undslippe deres baner. 674 00:26:12,750 --> 00:26:14,010 Efter at laseren er slukket, 675 00:26:14,010 --> 00:26:17,610 elektroner og ioner rekombinere for at producere lys. 676 00:26:17,610 --> 00:26:19,440 Dette er laserproduceret plasma 677 00:26:19,440 --> 00:26:22,023 og det var den eneste metode det virkede skalerbart. 678 00:26:23,670 --> 00:26:25,320 Faktisk var dette den samme metode 679 00:26:25,320 --> 00:26:26,970 som Engineering Test Stand brugte, 680 00:26:26,970 --> 00:26:30,900 en 1.700 watt laser affyret ind i en strøm af xenongas 681 00:26:30,900 --> 00:26:34,440 at producere 13,4 nanometer lys. 682 00:26:34,440 --> 00:26:36,570 Men xenon havde et stort problem. 683 00:26:36,570 --> 00:26:38,400 Konverteringseffektiviteten altså 684 00:26:38,400 --> 00:26:40,110 forholdet mellem brugbart lys 685 00:26:40,110 --> 00:26:42,690 til mængden af strøm du satte ind var forfærdeligt. 686 00:26:42,690 --> 00:26:44,303 Det var kun omkring 0,5 pct. 687 00:26:45,614 --> 00:26:47,250 Det er fordi, mens xenon udsender lys 688 00:26:47,250 --> 00:26:49,560 i området 13 til 14 nanometer, 689 00:26:49,560 --> 00:26:52,590 der er meget mere lys frigivet omkring 11 nanometer. 690 00:26:52,590 --> 00:26:54,990 Så det meste af energien gik ind i at lave lys 691 00:26:54,990 --> 00:26:57,060 at spejlene ikke kunne reflektere. 692 00:26:57,060 --> 00:26:59,550 Desuden gjorde laseren ikke ionisere alle atomer. 693 00:26:59,550 --> 00:27:01,890 Så ville resterende neutrale xenonatomer 694 00:27:01,890 --> 00:27:05,553 kraftigt reabsorbere nogle af det 13,4 nanometer lys. 695 00:27:06,630 --> 00:27:10,560 Så ASML begyndte at lede ved et andet materiale, tin. 696 00:27:10,560 --> 00:27:12,660 Nu har tin en meget højere emissionstop, 697 00:27:12,660 --> 00:27:14,430 omkring 13,5 nanometer, 698 00:27:14,430 --> 00:27:17,100 hvilket resulterer i en fem til 10 gange højere 699 00:27:17,100 --> 00:27:19,080 konverteringseffektivitet end xenon. 700 00:27:19,080 --> 00:27:21,870 Men ligesom xenon, neutral tinatomer absorberer også 701 00:27:21,870 --> 00:27:22,890 EUV lys. 702 00:27:22,890 --> 00:27:25,470 Så de kom på en skør idé, 703 00:27:25,470 --> 00:27:29,010 at skyde en lille tindråbe ad gangen. 704 00:27:29,010 --> 00:27:30,330 Men for at få den nødvendige kraft, 705 00:27:30,330 --> 00:27:31,800 du skulle lave og slå 706 00:27:31,800 --> 00:27:34,560 tusindvis af dråber hvert sekund, 707 00:27:34,560 --> 00:27:37,923 som alle skal være nøjagtig samme form og størrelse. 708 00:27:39,000 --> 00:27:41,490 Men det viser sig at du kan ikke lave med det samme 709 00:27:41,490 --> 00:27:44,370 tusindvis af tindråber det er præcis det samme. 710 00:27:44,370 --> 00:27:46,710 Så de fandt en løsning. 711 00:27:46,710 --> 00:27:49,890 For at lave dråberne, ekstremt rent tin smeltes 712 00:27:49,890 --> 00:27:51,930 og skubbes gennem en mikroskopisk dyse 713 00:27:51,930 --> 00:27:53,550 ved højtryksnitrogen. 714 00:27:53,550 --> 00:27:55,740 Denne dyse vibrerer ved en høj frekvens, 715 00:27:55,740 --> 00:27:58,470 bryde strømmen i små dråber. 716 00:27:58,470 --> 00:28:01,050 Disse dråber er uregelmæssig i størrelse, form, 717 00:28:01,050 --> 00:28:02,250 hastighed og afstand, 718 00:28:02,250 --> 00:28:04,980 og hele processen er kaotisk. 719 00:28:04,980 --> 00:28:06,510 - Det er ligesom vores magiske sauce, 720 00:28:06,510 --> 00:28:10,050 er hvordan modulerer du den tinstråle 721 00:28:10,050 --> 00:28:11,430 så det danner de dråber vi ønsker 722 00:28:11,430 --> 00:28:12,263 og at de er stabile? 723 00:28:12,263 --> 00:28:16,560 - Jeg tror, vi fandt noget papir der beskriver denne proces 724 00:28:16,560 --> 00:28:19,080 og det var en slags øjenåbnende for mig 725 00:28:19,080 --> 00:28:20,940 at det virker som alle dråberne 726 00:28:20,940 --> 00:28:23,880 faktisk kommer ud uregelmæssigt ud af dysen, 727 00:28:23,880 --> 00:28:26,010 men så før de når til siden 728 00:28:26,010 --> 00:28:27,510 hvor de bliver ramt af laseren, 729 00:28:27,510 --> 00:28:29,970 som den lille uregelmæssige dråber samles 730 00:28:29,970 --> 00:28:32,280 at danne disse med perfekt afstand, 731 00:28:32,280 --> 00:28:33,660 helt regelmæssige dråber 732 00:28:33,660 --> 00:28:36,360 der har omtrent samme størrelse og form 733 00:28:36,360 --> 00:28:38,730 og alle kører med samme hastighed. 734 00:28:38,730 --> 00:28:40,740 Det føles som magi for mig, Jayson. 735 00:28:40,740 --> 00:28:42,210 - Ja, det er præcis det. 736 00:28:42,210 --> 00:28:45,610 Det er hvordan man tager en lang strøm af en tinstråle 737 00:28:46,470 --> 00:28:49,380 der ønsker at bryde op i alle disse uregelmæssige dråber 738 00:28:49,380 --> 00:28:51,720 og som magt på det 739 00:28:51,720 --> 00:28:53,880 at det vil kollapse til en enkelt dråbe 740 00:28:53,880 --> 00:28:56,310 og så ske igen og igen og igen? 741 00:28:56,310 --> 00:28:57,960 - [Casper] Det gør du heller ikke har så mange variabler 742 00:28:57,960 --> 00:28:58,793 at lege med. 743 00:28:58,793 --> 00:28:59,940 Du har presset 744 00:28:59,940 --> 00:29:01,380 hvormed du skubber dåsen ud 745 00:29:01,380 --> 00:29:03,480 og ved dysens frekvens. 746 00:29:03,480 --> 00:29:05,880 Ja, det virker som en svært problem at løse. 747 00:29:05,880 --> 00:29:07,980 - Der er ikke en hel masse af variabler at lege med. 748 00:29:07,980 --> 00:29:12,780 Og så mestrer det modulering af jetflyet er 749 00:29:12,780 --> 00:29:14,030 hvordan vi laver dråberne. 750 00:29:15,180 --> 00:29:17,850 - [Casper] Men disse dråber ikke kun skal være identiske, 751 00:29:17,850 --> 00:29:20,733 de skal bevæge sig utrolig hurtigt. 752 00:29:21,660 --> 00:29:24,030 - Det, der vil ske, er, hvis den næste dråbe 753 00:29:24,030 --> 00:29:26,250 der kommer ned, er linjen for tæt på, 754 00:29:26,250 --> 00:29:28,830 så bliver det faktisk ligesom forstyrret 755 00:29:28,830 --> 00:29:31,560 og ødelægge den næste plasma-begivenhed. 756 00:29:31,560 --> 00:29:33,630 Så vi har et krav 757 00:29:33,630 --> 00:29:36,150 hvilket er begge dele, vi laver 50.000 dråber i sekundet, 758 00:29:36,150 --> 00:29:39,810 men også at de er rejser ekstremt hurtigt. 759 00:29:39,810 --> 00:29:42,720 - [Casper] I 2011, deres laserproduceret plasmakilde 760 00:29:42,720 --> 00:29:44,310 nåede 11 watt, 761 00:29:44,310 --> 00:29:46,320 hvilket var mere end det dobbelte af, hvad de formåede 762 00:29:46,320 --> 00:29:47,940 med deres tidligere kilde. 763 00:29:47,940 --> 00:29:51,030 Men de var stadig begrænsede til kun fem wafers i timen. 764 00:29:51,030 --> 00:29:54,210 Så de skulle øges kraften og hurtig, 765 00:29:54,210 --> 00:29:56,850 fordi de lovede at de ville ramte 60 wafers i timen 766 00:29:56,850 --> 00:29:59,280 inden udgangen af 2011. 767 00:29:59,280 --> 00:30:02,790 Desværre denne nye metoden havde en stor fejl. 768 00:30:02,790 --> 00:30:05,160 - Nu er problemet med dåsen problem, du rammer dråben, 769 00:30:05,160 --> 00:30:08,940 du genererer EUV med en meget anstændig konverteringseffektivitet. 770 00:30:08,940 --> 00:30:10,110 Hvor bliver dåsen af? 771 00:30:10,110 --> 00:30:13,050 Fordi ligesom, du ved, 30 centimeter væk, 772 00:30:13,050 --> 00:30:15,480 du har denne atomare flad, 773 00:30:15,480 --> 00:30:18,120 meget smukt, meget dyrt spejl 774 00:30:18,120 --> 00:30:19,920 fra vores venner hos Zeiss. - [Casper] Ja. 775 00:30:19,920 --> 00:30:21,600 - Og i de tidlige dage, 776 00:30:21,600 --> 00:30:23,458 vi ville belægge en ting indeni. 777 00:30:23,458 --> 00:30:24,291 (Jos klikker med fingre) 778 00:30:24,291 --> 00:30:25,350 Sådan. - Disse maskiner har brug for 779 00:30:25,350 --> 00:30:26,760 at køre i et år. 780 00:30:26,760 --> 00:30:31,760 Du lægger liter tin gennem denne plasmabegivenhed 781 00:30:31,890 --> 00:30:33,690 og en enkelt nanometer tin, 782 00:30:33,690 --> 00:30:35,670 hvis den skulle lande på det samlerspejl, 783 00:30:35,670 --> 00:30:37,710 du bliver nødt til at tage samler ud af provision. 784 00:30:37,710 --> 00:30:42,030 Vi skal næsten beholde det helt ren i et år. 785 00:30:42,030 --> 00:30:43,830 - Ja, hvordan griber du det overhovedet an? 786 00:30:43,830 --> 00:30:47,550 - Så vores vigtigste værktøj her er brintgassen, faktisk. 787 00:30:47,550 --> 00:30:48,690 - [Casper] De fylder kammeret 788 00:30:48,690 --> 00:30:50,190 med lavtryksbrint. 789 00:30:50,190 --> 00:30:52,980 Dette bremser og køler tinpartiklerne ned. 790 00:30:52,980 --> 00:30:55,440 Og selvom noget gør det til samleren, 791 00:30:55,440 --> 00:30:59,070 brinten trækker det af til danne en gas kaldet stannan. 792 00:30:59,070 --> 00:31:01,230 På denne måde maskinen renser opsamlerne 793 00:31:01,230 --> 00:31:02,520 mens den kører, 794 00:31:02,520 --> 00:31:04,620 men at brintgas også bliver varm 795 00:31:04,620 --> 00:31:06,480 fra alle de tineksplosioner. 796 00:31:06,480 --> 00:31:09,270 Så de skal beholde skylning af nyt, køligere brint 797 00:31:09,270 --> 00:31:11,820 ind i systemet mens udskylning af stannane 798 00:31:11,820 --> 00:31:13,350 og varmere gas. 799 00:31:13,350 --> 00:31:15,480 Men de skal have det tryk og flowhastighed 800 00:31:15,480 --> 00:31:16,410 helt rigtigt. 801 00:31:16,410 --> 00:31:17,970 Jeg mener, for lidt brint 802 00:31:17,970 --> 00:31:19,860 og spejlene ville blive for snavsede, 803 00:31:19,860 --> 00:31:21,960 men for meget brint ville ikke kun absorbere 804 00:31:21,960 --> 00:31:23,340 for meget EUV-lys, 805 00:31:23,340 --> 00:31:26,160 men det ville også forårsage systemet overophedes. 806 00:31:26,160 --> 00:31:28,710 - Spørgsmålet er, hvor meget varme er der? 807 00:31:28,710 --> 00:31:31,560 Hvor meget energi er der aflejret i gassen? 808 00:31:31,560 --> 00:31:33,630 Og vi var lamslåede i et stykke tid. 809 00:31:33,630 --> 00:31:35,610 Hvis du ser på en EUV lyskilde, 810 00:31:35,610 --> 00:31:39,030 hvad du vil se er det det er lidt som en globus 811 00:31:39,030 --> 00:31:41,520 af ligesom lilla-agtigt rødt lys 812 00:31:41,520 --> 00:31:43,920 og du spørger lidt dig selv ligesom, hvorfor sker det? 813 00:31:43,920 --> 00:31:46,650 Så vi købte et ultrahurtigt kamera. 814 00:31:46,650 --> 00:31:49,200 Det, vi indså, er det efter hver plasmahændelse, 815 00:31:49,200 --> 00:31:51,810 der er en chokbølge, der går 816 00:31:51,810 --> 00:31:54,450 forplanter sig ud i brintgassen 817 00:31:54,450 --> 00:31:57,330 og det er ekstremt gentageligt. 818 00:31:57,330 --> 00:31:58,163 Og du tænker ved dig selv, 819 00:31:58,163 --> 00:32:00,420 der skal være ligesom en forklaring på dette. 820 00:32:00,420 --> 00:32:02,940 Og der er denne formel, 821 00:32:02,940 --> 00:32:06,000 Taylor-von Neumann-Sedov formel, der forklarer 822 00:32:06,000 --> 00:32:07,920 punktkildeeksplosioner i et miljø, 823 00:32:07,920 --> 00:32:11,520 som f.eks. en atomkraft sprænge ud for at kunne lide supernova. 824 00:32:11,520 --> 00:32:12,840 Så jeg tog denne formel, 825 00:32:12,840 --> 00:32:14,970 det beskriver nøjagtigt dataene. 826 00:32:14,970 --> 00:32:17,550 Det er bare fantastisk, at vi ser 827 00:32:17,550 --> 00:32:19,950 disse, som små bitte der sker supernovaer 828 00:32:19,950 --> 00:32:22,440 i vores fartøj 50.000 gange i sekundet. 829 00:32:22,440 --> 00:32:24,390 - Og er det rimeligt måde at tænke på, 830 00:32:24,390 --> 00:32:27,090 som at skabe mini supernova? 831 00:32:27,090 --> 00:32:28,650 - Ja, det er faktisk ret ens. 832 00:32:28,650 --> 00:32:30,300 Det ligner næsten en, 833 00:32:30,300 --> 00:32:32,160 som en type 1A supernova, viser det sig, 834 00:32:32,160 --> 00:32:33,480 hvor du ligesom har en genstand 835 00:32:33,480 --> 00:32:36,120 der bare fordamper helt og eksploderer fra hinanden. 836 00:32:36,120 --> 00:32:39,390 Og når al den energi går ind i brintgassen, 837 00:32:39,390 --> 00:32:41,520 det frembringer en chokbølge, en eksplosionsbølge 838 00:32:41,520 --> 00:32:42,660 der kommer flyvende ud, 839 00:32:42,660 --> 00:32:44,651 hvilket i bund og grund er det samme. 840 00:32:44,651 --> 00:32:45,570 Hvis du ser op på nattehimlen, 841 00:32:45,570 --> 00:32:47,250 der er disse som restsupernovaer 842 00:32:47,250 --> 00:32:49,440 som du kan se komme fra rummet. 843 00:32:49,440 --> 00:32:51,120 - [Casper] Bruger dem energiberegninger, 844 00:32:51,120 --> 00:32:52,680 de opdagede, at de skulle skylles 845 00:32:52,680 --> 00:32:54,900 brinten ved utrolig høje hastigheder, 846 00:32:54,900 --> 00:32:57,450 omkring 360 kilometer i timen. 847 00:32:57,450 --> 00:32:59,520 Det er mere end en kategori 5 orkan, 848 00:32:59,520 --> 00:33:02,760 selvom du ved, dem hastigheder er ved lav tæthed. 849 00:33:02,760 --> 00:33:04,500 Men 2012 kom og gik 850 00:33:04,500 --> 00:33:06,900 og de havde stadig ikke strøm nok. 851 00:33:06,900 --> 00:33:10,410 Faktisk i 2013, ASML lige nået 50 watt 852 00:33:10,410 --> 00:33:13,320 ved at skyde 50.000 tin dråber i sekundet. 853 00:33:13,320 --> 00:33:15,600 Men denne øgede magt havde en pris 854 00:33:15,600 --> 00:33:18,330 fordi mere strøm betyder mere varme, 855 00:33:18,330 --> 00:33:21,180 varme, der ender lidt skift af spejle, 856 00:33:21,180 --> 00:33:25,110 resulterer i fejljusteret lys og forkert justerede spånlag. 857 00:33:25,110 --> 00:33:27,270 Så Zeiss byggede et nervesystem 858 00:33:27,270 --> 00:33:29,010 direkte ind i optikken, 859 00:33:29,010 --> 00:33:31,530 robotstyrede sensorer der hele tiden måler 860 00:33:31,530 --> 00:33:34,410 den nøjagtige position og vinkel på hvert spejl 861 00:33:34,410 --> 00:33:37,140 ned til nanometeret ved pico-radianen, 862 00:33:37,140 --> 00:33:39,570 hvilket er helt sindssygt. 863 00:33:39,570 --> 00:33:42,600 - Hvor præcise er vi så skal du styre dette spejl? 864 00:33:42,600 --> 00:33:45,510 Nu er en af tingene, dig kan lave et tankeeksperiment. 865 00:33:45,510 --> 00:33:47,880 - [Casper] Okay. - Og jeg kan placere 866 00:33:47,880 --> 00:33:51,660 en lille laser på siden af dette spejl. 867 00:33:51,660 --> 00:33:53,700 Så går vi hele vejen til Månen 868 00:33:53,700 --> 00:33:56,400 og vi sætter en skilling her. 869 00:33:56,400 --> 00:33:58,260 Så så rejser dette lys 870 00:33:58,260 --> 00:34:01,290 hele vejen hertil og så med den nøjagtighed, 871 00:34:01,290 --> 00:34:02,880 Jeg kan styre dette spejl. 872 00:34:02,880 --> 00:34:04,530 - Ja. - Jeg kan bestemme 873 00:34:04,530 --> 00:34:07,830 om jeg peger på denne side af skillingen 874 00:34:07,830 --> 00:34:09,538 eller om jeg peger. - Det er sindssygt. 875 00:34:09,538 --> 00:34:10,699 - Til denne side af skillingen. 876 00:34:10,699 --> 00:34:12,930 - Hvad, det er vanvittigt. 877 00:34:12,930 --> 00:34:16,500 - Så det kan du se pegningens nøjagtighed er 878 00:34:16,500 --> 00:34:18,580 det er også i pico-radianer. 879 00:34:19,693 --> 00:34:21,243 Det er noget meget ekstremt. 880 00:34:22,080 --> 00:34:23,760 - Det gjorde, at de kunne styre lyset 881 00:34:23,760 --> 00:34:26,040 selv når strømmen steg. 882 00:34:26,040 --> 00:34:28,500 Mens Zeiss lavede en fantastisk arbejde med optikken, 883 00:34:28,500 --> 00:34:31,710 ASML kæmpede stadig med strømkilden. 884 00:34:31,710 --> 00:34:34,800 Problemet var, at tindråber var for tætte, 885 00:34:34,800 --> 00:34:37,620 hvilket betyder, at de fleste af udsendte EUV-lys var 886 00:34:37,620 --> 00:34:39,030 bliver stadig reabsorberet 887 00:34:39,030 --> 00:34:41,490 af de neutrale atomer før den nogensinde kunne nå 888 00:34:41,490 --> 00:34:42,570 samlerspejlet. 889 00:34:42,570 --> 00:34:44,790 - Den måde, vi sprængte dråben på, var 890 00:34:44,790 --> 00:34:47,460 så ikke nok lys, for meget snavs. 891 00:34:47,460 --> 00:34:48,960 - For at gøre tingene værre, 892 00:34:48,960 --> 00:34:51,210 det kunne de se omkring 10 år fra nu, 893 00:34:51,210 --> 00:34:53,610 de skulle have en ny generation af maskine, 894 00:34:53,610 --> 00:34:55,710 en høj NA EUV maskine, 895 00:34:55,710 --> 00:34:58,290 i det væsentlige en med et større optisk system 896 00:34:58,290 --> 00:34:59,910 der kunne udskrive mindre funktioner. 897 00:34:59,910 --> 00:35:02,070 Så hvad gjorde de? 898 00:35:02,070 --> 00:35:04,680 De besluttede at fordoble og investere 899 00:35:04,680 --> 00:35:06,270 i næste generation 900 00:35:06,270 --> 00:35:08,850 før de overhovedet fik den nuværende til at arbejde. 901 00:35:08,850 --> 00:35:11,160 - Den mest tvivlsomme periode var i begyndelsen. 902 00:35:11,160 --> 00:35:14,130 Så jeg begyndte at arbejde på dette i 2012. 903 00:35:14,130 --> 00:35:17,079 På det tidspunkt virkede EUV ikke 904 00:35:17,079 --> 00:35:19,110 og der var denne skøre idiot 905 00:35:19,110 --> 00:35:21,220 arbejder på næste generation 906 00:35:22,141 --> 00:35:23,547 hvor vi ikke engang kunne lave 907 00:35:23,547 --> 00:35:25,440 EUV-lyset i første omgang. 908 00:35:25,440 --> 00:35:27,690 - Ikke kun er I alle med på EUV, 909 00:35:27,690 --> 00:35:29,340 du fordobler, selv før du ved det 910 00:35:29,340 --> 00:35:31,530 hvis EUV vil virke. - Ja, ja. 911 00:35:31,530 --> 00:35:33,180 - Men for at blive ved med at finansiere udviklingen, 912 00:35:33,180 --> 00:35:35,610 de havde brug for penge og masser af dem. 913 00:35:35,610 --> 00:35:37,740 Så de henvendte sig til meget mennesker, der havde brug for 914 00:35:37,740 --> 00:35:38,673 denne teknologi. 915 00:35:39,690 --> 00:35:41,970 - ASML nåede ud til sine hovedkunder, 916 00:35:41,970 --> 00:35:44,700 okay, du vil have denne teknologi 917 00:35:44,700 --> 00:35:46,440 til næste generation af chips? 918 00:35:46,440 --> 00:35:48,690 Nå, du skal gøre os i stand 919 00:35:48,690 --> 00:35:52,110 at investere mere ved at investere i os. 920 00:35:52,110 --> 00:35:55,320 - Intel investerede omkring 4,1 milliarder dollars 921 00:35:55,320 --> 00:36:00,060 og Samsung og TSMC investerede yderligere 1,3 mia. 922 00:36:00,060 --> 00:36:01,950 Så de kan holde forskningen i gang, 923 00:36:01,950 --> 00:36:04,080 men uden noget produkt at vise, 924 00:36:04,080 --> 00:36:06,390 kunder var ved at løbe tør for tålmodighed. 925 00:36:06,390 --> 00:36:09,540 - Vi blev korsfæstet ved hver konference 926 00:36:09,540 --> 00:36:11,550 at de løfter, vi gav sidste år, 927 00:36:11,550 --> 00:36:13,680 vi ikke kunne leve op til. 928 00:36:13,680 --> 00:36:14,617 - Ja. - Og de sagde: 929 00:36:14,617 --> 00:36:16,080 "Det er det, du viste for to år siden. 930 00:36:16,080 --> 00:36:17,310 Det er, hvad du viste sidste år 931 00:36:17,310 --> 00:36:18,750 og det er hvad du er fortæller mig i år. 932 00:36:18,750 --> 00:36:20,280 Så hvorfor skulle jeg tro dig?" 933 00:36:20,280 --> 00:36:22,140 - De var ved at blive desperate. 934 00:36:22,140 --> 00:36:27,140 - Men det her var, tror jeg, omkring 2012 eller '13, 935 00:36:27,180 --> 00:36:29,700 vi kæmpede for at få EUV-strømmen op 936 00:36:29,700 --> 00:36:31,200 og Kinoshita besøgte os. 937 00:36:31,200 --> 00:36:33,570 Jeg tog ham med til middag i en lille by i nærheden 938 00:36:33,570 --> 00:36:37,500 og overfor restaurant var et Maria kapel. 939 00:36:37,500 --> 00:36:39,210 Og nu, du ved, videnskab, 940 00:36:39,210 --> 00:36:41,460 vi er nået til videnskabens grænser. 941 00:36:41,460 --> 00:36:43,320 Hej, lad os gå til guddommelig indgriben. 942 00:36:43,320 --> 00:36:44,880 Så vi gik til kapellet, 943 00:36:44,880 --> 00:36:49,110 så Kinoshita bare at være pengeskab tændte tre stearinlys 944 00:36:49,110 --> 00:36:52,170 for de tre leverandører at forfulgte EUV-teknologi 945 00:36:52,170 --> 00:36:53,100 dengang. 946 00:36:53,100 --> 00:36:56,400 Og se og se, og jeg har data til at bevise det, 947 00:36:56,400 --> 00:36:58,856 der er en meget stærk sammenhæng 948 00:36:58,856 --> 00:37:02,943 mellem os tænder stearinlys og strøm går op. 949 00:37:03,960 --> 00:37:07,500 Det er ikke en årsagsvirkning, men der er en stærk sammenhæng. 950 00:37:07,500 --> 00:37:10,380 - Den store idé var i stedet at slå dråben én gang, 951 00:37:10,380 --> 00:37:11,670 slå den to gange. 952 00:37:11,670 --> 00:37:14,130 - [Jos] Et skud for at ramme dråben 953 00:37:14,130 --> 00:37:16,833 og den udvider sig som en pandekageform. 954 00:37:16,833 --> 00:37:18,060 - [Casper] Jep. - Og så, 955 00:37:18,060 --> 00:37:19,980 først derefter har det andet skud, 956 00:37:19,980 --> 00:37:21,990 den kraftigere hovedpuls 957 00:37:21,990 --> 00:37:23,910 hvor du inddamper pandekagen 958 00:37:23,910 --> 00:37:25,470 og gør det til et plasma. 959 00:37:25,470 --> 00:37:26,303 - [Casper] Ja. - Det var det her 960 00:37:26,303 --> 00:37:27,630 et stort gennembrud. 961 00:37:27,630 --> 00:37:28,890 - [Casper] Ved at ændre målet 962 00:37:28,890 --> 00:37:30,480 fra en dråbe til en pandekage, 963 00:37:30,480 --> 00:37:33,660 du har en større overflade for at laseren fordamper, 964 00:37:33,660 --> 00:37:37,170 men uden omkostninger ved tilføjelse mere affald eller neutrale atomer 965 00:37:37,170 --> 00:37:40,710 for nu er tin fordampet på én gang. 966 00:37:40,710 --> 00:37:43,440 I 2014 lykkedes det dem endelig at ramme 967 00:37:43,440 --> 00:37:45,750 det eftertragtede 100 watt mærke. 968 00:37:45,750 --> 00:37:47,580 Men forbedringer i multimønster 969 00:37:47,580 --> 00:37:49,410 med 193 nanometer 970 00:37:49,410 --> 00:37:51,930 betød nu, at EUV kun ville være nyttig 971 00:37:51,930 --> 00:37:54,210 hvis kilden nåede mindst 200 watt 972 00:37:54,210 --> 00:37:56,850 og lavede 125 wafers i timen. 973 00:37:56,850 --> 00:37:58,547 - Kilden gik fra 100 til 200, 974 00:37:58,547 --> 00:38:01,290 men som industrien flyttede på, ingen venter på dig. 975 00:38:01,290 --> 00:38:03,600 Du ved, de finder andre løsninger. 976 00:38:03,600 --> 00:38:05,040 Vi måtte indhente det. 977 00:38:05,040 --> 00:38:07,050 Så det var en bevægende målstolpe. 978 00:38:07,050 --> 00:38:09,330 - Et af problemerne var hvordan du perfekt tid 979 00:38:09,330 --> 00:38:12,180 laseren, så du rammer hver af disse dråber? 980 00:38:12,180 --> 00:38:14,940 - Så analogien er lidt ligesom en golfbold 981 00:38:14,940 --> 00:38:18,960 som du skal lande i hullet 200 meter væk, 982 00:38:18,960 --> 00:38:20,160 ikke som land på det grønne, 983 00:38:20,160 --> 00:38:21,300 ikke hoppe og komme i hullet, 984 00:38:21,300 --> 00:38:23,640 men som land i hullet hver gang. 985 00:38:23,640 --> 00:38:25,080 Det er det præcisionsniveau, vi har brug for 986 00:38:25,080 --> 00:38:26,880 at levere dråberne. 987 00:38:26,880 --> 00:38:28,050 De dråber rejser 988 00:38:28,050 --> 00:38:30,720 gennem denne lignende malstrøm af brintstrøm. 989 00:38:30,720 --> 00:38:32,580 Hastigheden er enormt høj, 990 00:38:32,580 --> 00:38:34,500 som at skyde golf bolde gennem en tornado, 991 00:38:34,500 --> 00:38:36,750 og så lige når den lander ved hullet, 992 00:38:36,750 --> 00:38:38,610 det er når det skal blive ramt af laseren. 993 00:38:38,610 --> 00:38:41,730 Så for at dybest set spor dråberne for det, 994 00:38:41,730 --> 00:38:44,640 vi bruger lasergardiner og vi kan sådan set se på 995 00:38:44,640 --> 00:38:46,770 hvornår passerer dråben gennem et lasergardin. 996 00:38:46,770 --> 00:38:50,220 De spredte fotoner fortæller os dybest set hvornår og hvor er 997 00:38:50,220 --> 00:38:51,053 dråben, 998 00:38:51,053 --> 00:38:53,070 og fortæller så vigtigt os, hvornår vi skal affyre laseren. 999 00:38:53,070 --> 00:38:54,870 Så vi skal faktisk tage hensyn 1000 00:38:54,870 --> 00:38:57,090 hvor lang tid vil det tage lyspulsen til at ramme 1001 00:38:57,090 --> 00:38:58,890 dråben efter vi har sendt pulsen. 1002 00:38:59,850 --> 00:39:01,320 - Nu i 2015, 1003 00:39:01,320 --> 00:39:03,240 de kom tættere og tættere på 1004 00:39:03,240 --> 00:39:05,490 til det eftertragtede 200 watt mærke, 1005 00:39:05,490 --> 00:39:09,420 når lige pludselig ASML bestyrelsesmedlemmer blev indkaldt. 1006 00:39:09,420 --> 00:39:12,090 - Dette var et af de her afgørende øjeblikke 1007 00:39:12,090 --> 00:39:15,360 hvor vores kunder var virkelig tynd på tålmodighed 1008 00:39:15,360 --> 00:39:16,920 og Martin og alle bestyrelsesmedlemmerne var 1009 00:39:16,920 --> 00:39:19,590 indkaldt til Korea for at vise 1010 00:39:19,590 --> 00:39:22,560 200 watt og det var de virkelig træt af det. 1011 00:39:22,560 --> 00:39:26,460 Du ved, du enten viser det nu eller du går væk. 1012 00:39:26,460 --> 00:39:28,020 Og da de gik ind i flyet, 1013 00:39:28,020 --> 00:39:28,990 eksperimentet kørte stadig. 1014 00:39:28,990 --> 00:39:31,410 - [Casper] Okay. - Da de gik ud 1015 00:39:31,410 --> 00:39:32,730 flyet, 1016 00:39:32,730 --> 00:39:34,883 de havde det første resultat demonstrerer 200 watt. 1017 00:39:34,883 --> 00:39:36,960 Det er hvor tæt vi kom. 1018 00:39:36,960 --> 00:39:38,190 - Når kilden er tændt, 1019 00:39:38,190 --> 00:39:41,340 der var et sidste problem det skulle løses 1020 00:39:41,340 --> 00:39:44,310 før de kunne begynde fremstiller deres maskine. 1021 00:39:44,310 --> 00:39:46,350 Se, mens brintgassen beskyttede 1022 00:39:46,350 --> 00:39:48,180 samlespejlet fra affald, 1023 00:39:48,180 --> 00:39:49,710 det var ikke perfekt. 1024 00:39:49,710 --> 00:39:51,870 Alle de intense højenergifotoner 1025 00:39:51,870 --> 00:39:54,150 og brintioner, der lyner rundt 1026 00:39:54,150 --> 00:39:57,840 forværret en meget speciel topbelægning på opsamleren. 1027 00:39:57,840 --> 00:40:01,260 Så de skulle stadig gøre rent spejlene hver 10. time, 1028 00:40:01,260 --> 00:40:04,050 hvilket du ved, er forfærdeligt for produktiviteten. 1029 00:40:04,050 --> 00:40:06,330 spurgte Martin van den Brink for opdateringer hver dag 1030 00:40:06,330 --> 00:40:07,260 på deres fremskridt. 1031 00:40:07,260 --> 00:40:09,240 Men så bemærkede en af ingeniørerne 1032 00:40:09,240 --> 00:40:11,670 at hver gang de åbnede maskinen, 1033 00:40:11,670 --> 00:40:14,400 spejlene virkede pludselig renere. 1034 00:40:14,400 --> 00:40:16,027 - At han ligesom kimede ind og sagde: 1035 00:40:16,027 --> 00:40:18,090 "Åh, vent et øjeblik. 1036 00:40:18,090 --> 00:40:20,160 Hver gang vi åbnede maskinen, 1037 00:40:20,160 --> 00:40:22,800 ilt kommer ind og vores problem er løst. 1038 00:40:22,800 --> 00:40:24,870 Kunne vi ikke finde på en måde at tilføje på 1039 00:40:24,870 --> 00:40:27,300 bare lidt ilt til vores system 1040 00:40:27,300 --> 00:40:31,290 og sørg for, at Opsamler forbliver ren længere?" 1041 00:40:31,290 --> 00:40:33,780 Og så begyndte de at eksperimentere 1042 00:40:33,780 --> 00:40:36,347 med den mængde ilt, der skulle til 1043 00:40:36,347 --> 00:40:39,090 i vakuum og derefter kom endelig til dette punkt, 1044 00:40:39,090 --> 00:40:41,010 okay, hvis vi tilføjer så meget ilt, 1045 00:40:41,010 --> 00:40:43,530 vi holder opsamleren ren i længere tid. 1046 00:40:43,530 --> 00:40:45,570 - Med denne rettelse kunne ASML's maskine køre 1047 00:40:45,570 --> 00:40:48,960 løbende for meget længere og det blev det endelig 1048 00:40:48,960 --> 00:40:50,640 kommercielt levedygtig. 1049 00:40:50,640 --> 00:40:53,160 I 2016 begyndte ordrerne at strømme ind 1050 00:40:53,160 --> 00:40:55,770 og nu alt det meste avancerede chips behov 1051 00:40:55,770 --> 00:40:56,910 ASML's maskine, 1052 00:40:56,910 --> 00:40:59,190 gør dem måske til de vigtigste 1053 00:40:59,190 --> 00:41:01,140 teknologivirksomhed i verden. 1054 00:41:01,140 --> 00:41:03,120 ASMLs første kommercielle maskiner havde 1055 00:41:03,120 --> 00:41:05,370 en numerisk blænde på 0,33 1056 00:41:05,370 --> 00:41:08,010 og kunne printe 13 nanometer linjer. 1057 00:41:08,010 --> 00:41:10,140 Disse kaldes lav-NA-maskinerne 1058 00:41:10,140 --> 00:41:11,880 og ASML laver dem stadig. 1059 00:41:11,880 --> 00:41:14,340 Men maskinen, som Jan er team begyndte at arbejde på 1060 00:41:14,340 --> 00:41:17,280 tilbage i 2012 var næste generation, 1061 00:41:17,280 --> 00:41:19,050 som havde et større optisk system 1062 00:41:19,050 --> 00:41:21,240 så de kunne udskrive endnu mindre funktioner. 1063 00:41:21,240 --> 00:41:23,340 Dette er den høje NA-maskine 1064 00:41:23,340 --> 00:41:26,340 med en numerisk blænde på 0,55, 1065 00:41:26,340 --> 00:41:29,493 og vi får dem at se nyeste version tæt på. 1066 00:41:30,570 --> 00:41:32,160 - Hvor meget koster maskinen? 1067 00:41:32,160 --> 00:41:36,000 - Vi siger altid nord på 350 millioner euro. 1068 00:41:36,000 --> 00:41:37,410 - Og du kan faktisk købe det, ikke? 1069 00:41:37,410 --> 00:41:38,490 - Du kan, hvis du vil, ja. 1070 00:41:38,490 --> 00:41:40,263 - Hvis jeg havde pengene, kunne jeg købe dem? 1071 00:41:40,263 --> 00:41:41,223 - Ja, det kunne du. 1072 00:41:42,090 --> 00:41:43,590 - Hvor mange mennesker har set det her før? 1073 00:41:43,590 --> 00:41:46,020 - Vi begrænser virkelig mængden af mennesker 1074 00:41:46,020 --> 00:41:47,820 der kommer til at gå ind i det rene rum. 1075 00:41:47,820 --> 00:41:49,290 - [Casper] ASMLs maskiner er bygget 1076 00:41:49,290 --> 00:41:51,000 i et super strengt rent rum. 1077 00:41:51,000 --> 00:41:53,910 I enhver kubikmeter kan der ikke være mere end 10 partikler, 1078 00:41:53,910 --> 00:41:55,860 kun 0,1 mikron stor, 1079 00:41:55,860 --> 00:41:57,570 og intet større end det. 1080 00:41:57,570 --> 00:41:59,640 En spec af pollen er omkring 20 mikron 1081 00:41:59,640 --> 00:42:02,700 og meget fint sand er omkring 10 mikron. 1082 00:42:02,700 --> 00:42:04,440 For at sætte alt dette i perspektiv, 1083 00:42:04,440 --> 00:42:05,730 hospitals operationsstuer, 1084 00:42:05,730 --> 00:42:07,560 som skal være ekstremt rene, 1085 00:42:07,560 --> 00:42:11,040 kun tillade et maksimum på 10.000 partikler per kubikmeter 1086 00:42:11,040 --> 00:42:13,830 der er 0,1 mikron brede. 1087 00:42:13,830 --> 00:42:16,450 Det er så uretfærdigt hvor meget Marc ser dog bedre ud 1088 00:42:17,430 --> 00:42:18,420 i sit lette jakkesæt. 1089 00:42:18,420 --> 00:42:19,770 Jeg føler mig som en lille smølf. 1090 00:42:21,100 --> 00:42:24,690 - Okay, så går vi gennem luftbyger, 1091 00:42:24,690 --> 00:42:26,700 så du bliver nødt til at gøre som jeg. 1092 00:42:26,700 --> 00:42:27,720 - [Casper] Okay. 1093 00:42:27,720 --> 00:42:30,142 Så dette er at børste alle partiklerne ned 1094 00:42:30,142 --> 00:42:30,975 der stadig er på os. 1095 00:42:30,975 --> 00:42:32,430 - [Marc] Ja, så det her er som super ren luft 1096 00:42:32,430 --> 00:42:33,543 blæser os rene. 1097 00:42:34,920 --> 00:42:36,183 - [Casper] Dette sted er enormt. 1098 00:42:36,183 --> 00:42:38,220 - [Marc] Det er stort. - [Casper] Det er sindssygt. 1099 00:42:38,220 --> 00:42:40,740 Jeg har været i et rent rum et par gange før, 1100 00:42:40,740 --> 00:42:42,540 men det er ingenting i forhold til dette. 1101 00:42:42,540 --> 00:42:44,460 Er der nogle hemmelige områder her 1102 00:42:44,460 --> 00:42:46,160 hvor næsten ingen har adgang til? 1103 00:42:47,490 --> 00:42:48,800 - [Marc] Jeg kan ikke fortælle dig det. 1104 00:42:48,800 --> 00:42:49,865 (Casper griner) 1105 00:42:49,865 --> 00:42:50,698 - [Casper] Godt svar. 1106 00:42:50,698 --> 00:42:52,473 - [Marc] Okay, så det her er det samlede system. 1107 00:42:54,980 --> 00:42:56,292 - [Casper] Det her er vanvittigt. 1108 00:42:56,292 --> 00:42:57,960 Se hvor stor den er. 1109 00:42:57,960 --> 00:43:01,170 Dette er det mest avancerede maskine menneskeheden nogensinde er bygget. 1110 00:43:01,170 --> 00:43:04,890 Det har taget mange, mange år, årtiers udvikling, 1111 00:43:04,890 --> 00:43:06,690 mange milliarder dollars, 1112 00:43:06,690 --> 00:43:09,243 alt for at få denne enorme skønhed. 1113 00:43:10,230 --> 00:43:12,120 Så dette er den første høj NA-maskine. 1114 00:43:12,120 --> 00:43:12,953 - [Marc] Ja. 1115 00:43:12,953 --> 00:43:16,950 Så hvis du så billeder på internettet eller hvad som helst, 1116 00:43:16,950 --> 00:43:17,783 det er denne maskine. 1117 00:43:17,783 --> 00:43:20,490 Altså de allerførste linjer nogensinde trykt ved otte nanometer 1118 00:43:20,490 --> 00:43:22,170 og sådan noget, det var denne maskine. 1119 00:43:22,170 --> 00:43:24,690 - [Casper] Dette glatteste objekt på jorden. 1120 00:43:24,690 --> 00:43:26,670 - [Marc] Ja, det hele er herinde, ja. 1121 00:43:26,670 --> 00:43:29,130 - [Casper] Vent, så lad mig se om jeg kan finde ud af det. 1122 00:43:29,130 --> 00:43:31,980 Dette er lyskilden. 1123 00:43:31,980 --> 00:43:34,170 Det er der, de laver den ekstreme ultraviolette. 1124 00:43:34,170 --> 00:43:35,003 - [Marc] Ja. 1125 00:43:36,106 --> 00:43:37,740 - [Casper] Og så laseren skal ind derfra. 1126 00:43:37,740 --> 00:43:39,690 - [Marc] Ja, lad os tag et kig på laseren. 1127 00:43:39,690 --> 00:43:40,710 - [Casper] Faktisk fik vi at se 1128 00:43:40,710 --> 00:43:42,760 hvordan laseren og lyskilden fungerer. 1129 00:43:43,744 --> 00:43:45,450 Jeg tror, vi går ind lasersystemet her. 1130 00:43:45,450 --> 00:43:46,680 Marc sørger bare for, at jeg tænker 1131 00:43:46,680 --> 00:43:48,510 at vi faktisk kan filme her, 1132 00:43:48,510 --> 00:43:50,850 som vi ikke fanger alt hvad vi ikke skal. 1133 00:43:50,850 --> 00:43:53,610 Åh, det ser farligt ud. 1134 00:43:53,610 --> 00:43:55,020 Nu er lasersystemet dækket 1135 00:43:55,020 --> 00:43:56,550 ved alle disse brune skabe, 1136 00:43:56,550 --> 00:43:58,530 men her er en modelversion. 1137 00:43:58,530 --> 00:44:01,380 En kuldioxidlaser af der kommer kun et par watt ind 1138 00:44:01,380 --> 00:44:03,720 denne forstærker, hvor den hopper rundt 1139 00:44:03,720 --> 00:44:06,660 indtil den er omkring fem gange sin oprindelige kraft. 1140 00:44:06,660 --> 00:44:09,510 Det går så igennem en total af fire forskellige forstærkere 1141 00:44:09,510 --> 00:44:12,780 at bringe den endelige laser op til 20.000 watt, 1142 00:44:12,780 --> 00:44:15,090 som er fire gange stærkere end lasere, der skærer 1143 00:44:15,090 --> 00:44:16,350 gennem stål. 1144 00:44:16,350 --> 00:44:19,860 - Herovre har vi forstærkere, der genererer 1145 00:44:19,860 --> 00:44:22,050 denne kraftfulde laserstråle. 1146 00:44:22,050 --> 00:44:23,820 Og så kommer det i bund og grund ud 1147 00:44:23,820 --> 00:44:26,880 og dette er en del af stråletransportsystem 1148 00:44:26,880 --> 00:44:29,190 hvor det bringes til maskinen. 1149 00:44:29,190 --> 00:44:31,800 Så dette rør her har den store laserstråle. 1150 00:44:31,800 --> 00:44:34,560 - Og den har et spejl. - [Marc] Ja. 1151 00:44:34,560 --> 00:44:35,730 - [Casper] Så rejser pulserne 1152 00:44:35,730 --> 00:44:37,050 til lyskildemodulet. 1153 00:44:37,050 --> 00:44:38,700 Det ligner en transformer 1154 00:44:38,700 --> 00:44:41,580 eller som et, jeg ved det ikke, som et rumskib. 1155 00:44:41,580 --> 00:44:44,220 Der går så mange ledninger overalt. 1156 00:44:44,220 --> 00:44:45,520 - [Marc] Rør ikke ved dette. 1157 00:44:48,450 --> 00:44:49,500 - [Casper] Hellige lort. 1158 00:44:50,460 --> 00:44:51,934 Det her er ret stort, hva'? 1159 00:44:51,934 --> 00:44:53,000 Det her er sindssygt. 1160 00:44:53,000 --> 00:44:54,203 - [Marc] Og dette er kun lyskilden. 1161 00:44:54,203 --> 00:44:55,036 - [Casper] Dette er bare en lyskilde. 1162 00:44:55,036 --> 00:44:56,850 Får du dette sammenligningsbillede? 1163 00:44:56,850 --> 00:45:00,180 - [Marc] Og så du har brug for alt af dette blot for at gøre EUV lys. 1164 00:45:00,180 --> 00:45:02,430 - [Casper] Bare for at lave den lys, det er utroligt. 1165 00:45:02,430 --> 00:45:03,973 Kan vi gå en lille tur rundt? 1166 00:45:03,973 --> 00:45:04,823 - [Marc] Vi kan gå en lille tur. 1167 00:45:06,450 --> 00:45:07,650 - Lad os gå. 1168 00:45:07,650 --> 00:45:10,770 - Så dybest set er det det her kildens hjerte. 1169 00:45:10,770 --> 00:45:12,320 - [Casper] Må jeg stå her? 1170 00:45:13,200 --> 00:45:15,750 - [Marc] Hvis du er under 137, kan du det. 1171 00:45:15,750 --> 00:45:17,400 - [Casper] Det gør jeg ikke, det tror jeg, jeg er. 1172 00:45:21,270 --> 00:45:22,103 Woo. 1173 00:45:22,103 --> 00:45:24,420 Og sådan er tindråberne kommer ind fra venstre. 1174 00:45:24,420 --> 00:45:25,470 - [Marc] Ja. 1175 00:45:25,470 --> 00:45:27,930 - [Casper] Så er vi skyder laseren herfra. 1176 00:45:27,930 --> 00:45:29,250 - [Marc] Ja. 1177 00:45:29,250 --> 00:45:30,750 - [Casper] Okay, det eksploderer. 1178 00:45:30,750 --> 00:45:31,650 - [Marc] Og så lyset. 1179 00:45:31,650 --> 00:45:33,450 - [Casper] Lyset går ud der. 1180 00:45:34,620 --> 00:45:37,260 En forbedring fra ASMLs første EUV-maskine 1181 00:45:37,260 --> 00:45:38,670 til deres nyeste er 1182 00:45:38,670 --> 00:45:41,460 antallet af pulser, der rammer dråben. 1183 00:45:41,460 --> 00:45:43,890 Den første forpuls stadig udjævner dråben 1184 00:45:43,890 --> 00:45:45,090 til en pandekage, 1185 00:45:45,090 --> 00:45:47,430 men nu er der også en anden forpuls 1186 00:45:47,430 --> 00:45:49,020 som yderligere reducerer tætheden. 1187 00:45:49,020 --> 00:45:51,900 Det vender i bund og grund til en gas med lav densitet, 1188 00:45:51,900 --> 00:45:53,640 det rarificerer det. 1189 00:45:53,640 --> 00:45:57,210 Og så den sidste puls i bund og grund ioniserer det hele. 1190 00:45:57,210 --> 00:46:00,570 Altså for stort set samme kraft kommer fra drevlaseren, 1191 00:46:00,570 --> 00:46:03,030 de får endnu mere EUV-lys. 1192 00:46:03,030 --> 00:46:04,530 Hvis de nu vil have endnu mere lys, 1193 00:46:04,530 --> 00:46:05,760 så er den eneste måde at gøre det på 1194 00:46:05,760 --> 00:46:07,290 ved at ramme flere dråber. 1195 00:46:07,290 --> 00:46:09,300 Og det var præcis, hvad de gjorde. 1196 00:46:09,300 --> 00:46:11,760 - Vores seneste EUV lyskilder 1197 00:46:11,760 --> 00:46:12,810 at vi sender lige nu, 1198 00:46:12,810 --> 00:46:15,330 som er omkring 500 watt niveauet, 1199 00:46:15,330 --> 00:46:18,480 vi øgede repraten til 60.000 gange i sekundet. 1200 00:46:18,480 --> 00:46:20,460 Og så har vi en køreplan, der skal gå 1201 00:46:20,460 --> 00:46:22,920 til 100.000 dråber i sekundet. 1202 00:46:22,920 --> 00:46:24,510 Vi har faktisk allerede demonstreret 1203 00:46:24,510 --> 00:46:26,670 disse 100.000 dråber sekund i laboratoriet. 1204 00:46:26,670 --> 00:46:28,410 Så det er ikke et hvis, men et hvornår. 1205 00:46:28,410 --> 00:46:30,030 - Skørt. 1206 00:46:30,030 --> 00:46:31,860 - [Marc] De tre pulser som vi bruger til at lave 1207 00:46:31,860 --> 00:46:34,020 pandekagen, at sprænge i luften pandekagen en lille smule 1208 00:46:34,020 --> 00:46:36,360 og derefter for at fordampe pandekagen. 1209 00:46:36,360 --> 00:46:37,596 - [Casper] Ja. 1210 00:46:37,596 --> 00:46:38,429 - De første to pulser, 1211 00:46:38,429 --> 00:46:41,970 de ville komme ind gennem dette rør her 1212 00:46:41,970 --> 00:46:45,180 og så hovedpulsen med den store laser, 1213 00:46:45,180 --> 00:46:48,000 laserstrålen ville være leveret gennem dette rør her. 1214 00:46:48,000 --> 00:46:49,710 - [Casper] Både de høj og lav NA maskine 1215 00:46:49,710 --> 00:46:51,810 forsendelse ud lige nu brug tre pulser 1216 00:46:51,810 --> 00:46:55,260 og til sidst vil de ramme flere dråber i sekundet. 1217 00:46:55,260 --> 00:46:57,480 Men lyskilden er kun en lille del 1218 00:46:57,480 --> 00:46:58,470 af den fulde maskine. 1219 00:46:58,470 --> 00:47:00,300 Efter at have prellet af samlespejlet, 1220 00:47:00,300 --> 00:47:02,970 EUV-lyset bevæger sig til illuminatoren. 1221 00:47:02,970 --> 00:47:05,250 Et sæt spejle former og fokuserer lyset 1222 00:47:05,250 --> 00:47:06,870 før det rammer trådkorset. 1223 00:47:06,870 --> 00:47:08,160 Sigtet er den øverste halvdel 1224 00:47:08,160 --> 00:47:10,440 og dette modul er bygget i et separat anlæg 1225 00:47:10,440 --> 00:47:11,880 og installeret senere. 1226 00:47:11,880 --> 00:47:14,760 Dernæst går lyset ind projektionsoptikboksen, 1227 00:47:14,760 --> 00:47:17,640 som er et sæt spejle der skrumper lyset ned. 1228 00:47:17,640 --> 00:47:19,530 Den høje NA-maskine kan krympe mønsteret 1229 00:47:19,530 --> 00:47:21,330 otte gange i lodret retning 1230 00:47:21,330 --> 00:47:24,000 og fire gange i vandret retning. 1231 00:47:24,000 --> 00:47:26,490 Spejlene er også meget mere glatte. 1232 00:47:26,490 --> 00:47:28,950 Hvis den lave NA's spejler var på størrelse med Tyskland, 1233 00:47:28,950 --> 00:47:31,110 den højeste bump ville være omkring en millimeter. 1234 00:47:31,110 --> 00:47:33,660 Men hvis det høje NA spejler var verdens størrelse, 1235 00:47:33,660 --> 00:47:34,740 den højeste bump ville være 1236 00:47:34,740 --> 00:47:36,990 omkring tykkelsen af et spillekort. 1237 00:47:36,990 --> 00:47:39,180 Ved kombinationen af begge af disse forbedringer, 1238 00:47:39,180 --> 00:47:41,550 ASML var i stand til at stige den numeriske blænde 1239 00:47:41,550 --> 00:47:45,120 fra 0,33 til 0,55. 1240 00:47:45,120 --> 00:47:47,760 Og endelig rammer lyset oblaten. 1241 00:47:47,760 --> 00:47:51,180 For at printe rundt 185 wafers i timen, 1242 00:47:51,180 --> 00:47:52,770 sigtemidlet pisker frem og tilbage 1243 00:47:52,770 --> 00:47:55,290 ved accelerationer på over 20 Gs. 1244 00:47:55,290 --> 00:47:57,270 Det er mere end fem gange accelerationen 1245 00:47:57,270 --> 00:47:58,890 af en Formel 1-bil. 1246 00:47:58,890 --> 00:48:00,840 Og dette er nogle faktiske optagelser 1247 00:48:00,840 --> 00:48:02,610 hvordan det er inde i denne maskine. 1248 00:48:02,610 --> 00:48:04,623 Og bemærk, at dette ikke er fremskyndet. 1249 00:48:06,330 --> 00:48:08,220 Men det skøre at mig om denne maskine 1250 00:48:08,220 --> 00:48:10,260 er ikke hvor hurtigt trådkorset bevæger sig 1251 00:48:10,260 --> 00:48:12,840 eller endda hvor lille den kan udskrive, 1252 00:48:12,840 --> 00:48:15,930 men det er bare hvor sindssygt præcis skal den være. 1253 00:48:15,930 --> 00:48:18,060 Det meste af to lag kan være slukket, 1254 00:48:18,060 --> 00:48:21,510 som kaldes overlejring, er en nanometer. 1255 00:48:21,510 --> 00:48:24,600 Det er fem fancy silicium atomer af præcision. 1256 00:48:24,600 --> 00:48:25,800 Det er sindssygt. 1257 00:48:25,800 --> 00:48:29,160 - Altså typisk hvad vi gør som systemingeniører er 1258 00:48:29,160 --> 00:48:30,690 at vi laver et budget. - [Casper] Ja. 1259 00:48:30,690 --> 00:48:33,780 - Så vi siger, hej, du få, lad os sige en nanometer 1260 00:48:33,780 --> 00:48:38,780 og vi deler derefter nanometerne 1261 00:48:39,000 --> 00:48:40,230 til mindre fraktioner. - rigtigt, 1262 00:48:40,230 --> 00:48:41,280 nanometer i alt. 1263 00:48:41,280 --> 00:48:43,474 Det er ikke sådan, at din gruppe får en nanometer. 1264 00:48:43,474 --> 00:48:44,790 - Du får en nanometer, du får, nej, nej. 1265 00:48:44,790 --> 00:48:48,240 Du får en nanometer i alt, ja. 1266 00:48:48,240 --> 00:48:50,760 - [Casper] Så du skal kæmpe for, 1267 00:48:50,760 --> 00:48:52,770 for din del af nanometeret. 1268 00:48:52,770 --> 00:48:53,970 - Det er lidt fedt at indse 1269 00:48:53,970 --> 00:48:57,330 som enhver smartphone i dag har en chip 1270 00:48:57,330 --> 00:48:58,710 der er lavet med maskinen 1271 00:48:58,710 --> 00:49:01,080 det blev faktisk sat sammen her. 1272 00:49:01,080 --> 00:49:02,330 Så det er en fed tanke. 1273 00:49:04,290 --> 00:49:06,210 - Tag et kig på det her. 1274 00:49:06,210 --> 00:49:07,410 - [Marc] Det er ret massivt, ikke? 1275 00:49:07,410 --> 00:49:09,000 - [Casper] Så stor. 1276 00:49:09,000 --> 00:49:10,890 Så dækker du over det? 1277 00:49:10,890 --> 00:49:11,723 - [Marc] Ja. 1278 00:49:11,723 --> 00:49:15,093 Havde en kunde fab, vil det være ligner en stor hvid kasse. 1279 00:49:17,280 --> 00:49:18,420 Jeg kan bedre lide det sådan her. 1280 00:49:18,420 --> 00:49:19,620 - [Casper] Ja, også mig. 1281 00:49:20,970 --> 00:49:23,520 Det er sjovt, du har brug for sådan en stor maskine, 1282 00:49:23,520 --> 00:49:25,740 så meget infrastruktur 1283 00:49:25,740 --> 00:49:29,640 at lave de mindste ting vi kan lave i skala. 1284 00:49:29,640 --> 00:49:31,140 - Det er omvendt proportionalt. 1285 00:49:31,140 --> 00:49:32,790 - Ja, mindre du vil gå, 1286 00:49:32,790 --> 00:49:34,790 jo større bliver alt omkring det. 1287 00:49:35,700 --> 00:49:38,160 Efter at maskinerne er samlet, testet og godkendt, 1288 00:49:38,160 --> 00:49:41,083 de skilles ad til skib over hele verden. 1289 00:49:41,083 --> 00:49:44,280 5.000 virksomheder leverer 100.000 dele, 1290 00:49:44,280 --> 00:49:46,710 3000 kabler, 40.000 bolte 1291 00:49:46,710 --> 00:49:48,990 og to kilometers udspolning. 1292 00:49:48,990 --> 00:49:52,020 ASML sender deres høje NA maskine i 250 containere 1293 00:49:52,020 --> 00:49:53,760 fordelt på 25 lastbiler 1294 00:49:53,760 --> 00:49:55,953 og syv Boeing 747. 1295 00:49:57,540 --> 00:49:59,400 På trods af al tvivl og tilbageslag, 1296 00:49:59,400 --> 00:50:01,890 EUV nåede endelig til produktionsniveau 1297 00:50:01,890 --> 00:50:05,070 tre årtier efter Kinoshitas første billeder. 1298 00:50:05,070 --> 00:50:07,830 Men selv når næsten hele verden troede ikke 1299 00:50:07,830 --> 00:50:08,790 det ville virke, 1300 00:50:08,790 --> 00:50:11,400 det var der nogle på ASML, der vidste 1301 00:50:11,400 --> 00:50:14,760 at det skulle virke helt tilbage i 2010. 1302 00:50:14,760 --> 00:50:18,900 - Omkring 2001 sagde vi, lad os lave EUV. 1303 00:50:18,900 --> 00:50:21,180 Og så løber vi ind i mange udfordringer. 1304 00:50:21,180 --> 00:50:24,000 2010 installerede vi første system hos en kunde. 1305 00:50:24,000 --> 00:50:25,710 Så det blev installeret i Korea. 1306 00:50:25,710 --> 00:50:28,680 Der var den, denne ting jeg havde forfulgt 1307 00:50:28,680 --> 00:50:30,690 for du ved, 13 år var 1308 00:50:30,690 --> 00:50:34,380 står nu ved en kunde, der producerer wafers. 1309 00:50:34,380 --> 00:50:37,140 Dette var for mig et øjeblik, jeg indså, 1310 00:50:37,140 --> 00:50:39,330 ja, vi satsede rigtigt. 1311 00:50:39,330 --> 00:50:40,800 - [Casper] År senere løb Jos ind i 1312 00:50:40,800 --> 00:50:43,410 manden der hjalp installere den første maskine. 1313 00:50:43,410 --> 00:50:45,900 - Han er nu professor på et anerkendt institut. 1314 00:50:45,900 --> 00:50:48,210 Og jeg delte historien om min lettelse 1315 00:50:48,210 --> 00:50:50,719 og hvor godt vi tog beslutningen. 1316 00:50:50,719 --> 00:50:51,810 (utydelig) sagde: "Ja, ja, ja." 1317 00:50:51,810 --> 00:50:54,630 Han sagde: "Da du gik og du fløj ud efter jul, 1318 00:50:54,630 --> 00:50:57,180 tingen brød sammen og det tog 1319 00:50:57,180 --> 00:50:58,950 to måneder til at komme op igen. 1320 00:50:58,950 --> 00:51:00,240 Og de fyrede mig næsten 1321 00:51:00,240 --> 00:51:02,100 for at tage den forkerte beslutning." 1322 00:51:02,100 --> 00:51:04,500 Vi havde nogle op- og nedture undervejs. 1323 00:51:04,500 --> 00:51:05,333 - [Casper] Ja. 1324 00:51:05,333 --> 00:51:07,530 - Men igen, engang så jeg systemet installeret 1325 00:51:07,530 --> 00:51:10,050 hos en kunde, i en kundefabrik, 1326 00:51:10,050 --> 00:51:11,790 Jeg vidste, at vi havde gjort det rigtige. 1327 00:51:11,790 --> 00:51:12,720 Dette var 2010. 1328 00:51:12,720 --> 00:51:14,820 Den første telefon, der kom ud, var 2019. 1329 00:51:14,820 --> 00:51:17,160 Så vi havde stadig nogle forhindringer at løse. 1330 00:51:17,160 --> 00:51:17,993 - [Casper] Lige. 1331 00:51:17,993 --> 00:51:18,826 - Men vi blev ved. 1332 00:51:22,590 --> 00:51:24,330 - Nu har jeg brugt flere måneder 1333 00:51:24,330 --> 00:51:27,169 arbejder på denne video og tænker over det 1334 00:51:27,169 --> 00:51:30,120 og det føles stadig helt umuligt. 1335 00:51:30,120 --> 00:51:32,220 Og jo mere jeg tænker over det, 1336 00:51:32,220 --> 00:51:35,250 jo mere jeg tænker, du ved, de mennesker for 40 år siden 1337 00:51:35,250 --> 00:51:38,130 der sagde det var umuligt, de havde en pointe. 1338 00:51:38,130 --> 00:51:40,740 Det er fuldstændig urimeligt at tænke 1339 00:51:40,740 --> 00:51:43,050 at du kunne lave dette kunstig sol i et laboratorium, 1340 00:51:43,050 --> 00:51:44,310 at du kunne lave disse spejle 1341 00:51:44,310 --> 00:51:45,330 der er så glatte 1342 00:51:45,330 --> 00:51:49,620 og at du kunne få påkrævet overlejringsnøjagtighed. 1343 00:51:49,620 --> 00:51:50,940 Det fornuftige er at tænke 1344 00:51:50,940 --> 00:51:52,350 at intet af det er muligt 1345 00:51:52,350 --> 00:51:55,290 og at påpege alle problemer med hver af dem. 1346 00:51:55,290 --> 00:51:57,570 Hvilket minder mig om dette citat, 1347 00:51:57,570 --> 00:52:00,420 den fornuftige mand tilpasser sig sig selv til verden. 1348 00:52:00,420 --> 00:52:02,580 Det urimelige bliver ved 1349 00:52:02,580 --> 00:52:05,340 i forsøget på at tilpasse verden til sig selv. 1350 00:52:05,340 --> 00:52:07,860 Derfor afhænger alle fremskridt 1351 00:52:07,860 --> 00:52:09,450 på den urimelige mand. 1352 00:52:09,450 --> 00:52:12,810 Tænk hvis Andy og Kinoshita og alle de andre 1353 00:52:12,810 --> 00:52:14,400 havde været rimeligt, 1354 00:52:14,400 --> 00:52:16,470 vi ville ikke have noget af dette. 1355 00:52:16,470 --> 00:52:18,510 Faktisk, forestil dig hvad verden ville være som 1356 00:52:18,510 --> 00:52:21,180 hvis alle på det var fornuftige. 1357 00:52:21,180 --> 00:52:23,220 Det ville nok være ekstremt kedeligt. 1358 00:52:23,220 --> 00:52:24,750 Sandsynligvis det meste af teknologien, 1359 00:52:24,750 --> 00:52:27,360 de fleste ting du nyde på daglig basis 1360 00:52:27,360 --> 00:52:28,650 ville ikke være her. 1361 00:52:28,650 --> 00:52:30,000 Faktisk ville du nok ikke være det 1362 00:52:30,000 --> 00:52:31,200 ser denne video, 1363 00:52:31,200 --> 00:52:33,120 fordi næsten alle den teknologi vi har 1364 00:52:33,120 --> 00:52:36,600 synes nu om dage fuldstændig urimeligt 1365 00:52:36,600 --> 00:52:39,030 selv for bare 200 år siden. 1366 00:52:39,030 --> 00:52:42,060 Og det tror jeg virkelig at i høj grad, 1367 00:52:42,060 --> 00:52:45,090 dem skylder vi vores liv urimelige mennesker. 1368 00:52:45,090 --> 00:52:46,890 Og måske i det mindste for mig, 1369 00:52:46,890 --> 00:52:50,220 det er en påmindelse om, at det er godt at være lidt urimelig, 1370 00:52:50,220 --> 00:52:52,473 i hvert fald i nogle af de store dele af livet. 1371 00:52:57,210 --> 00:52:58,710 Det er svært at ændre verden. 1372 00:52:58,710 --> 00:53:00,660 Det krævede at overvinde tusindvis af forhindringer 1373 00:53:00,660 --> 00:53:03,060 og over 30 år for at få EUV til at virke. 1374 00:53:03,060 --> 00:53:06,000 Men store gennembrud som regel starte på samme måde. 1375 00:53:06,000 --> 00:53:09,570 Det vil sige, du lærer, du udforske nogle relaterede ideer, 1376 00:53:09,570 --> 00:53:11,824 du prøver at anvende dem på nogle nye måder, 1377 00:53:11,824 --> 00:53:13,230 og så bygger du færdigheder til at tage på 1378 00:53:13,230 --> 00:53:15,240 større og større udfordringer. 1379 00:53:15,240 --> 00:53:17,370 Lidt efter lidt får du viden 1380 00:53:17,370 --> 00:53:20,970 og det er her dagens video sponsor, Brilliant, kommer ind. 1381 00:53:20,970 --> 00:53:22,170 Brilliant hjælper dig med at udmærke dig 1382 00:53:22,170 --> 00:53:24,750 i matematik, naturvidenskab og datalogi 1383 00:53:24,750 --> 00:53:26,550 med visuel, interaktiv læring 1384 00:53:26,550 --> 00:53:28,560 der er tilpasset til dig. 1385 00:53:28,560 --> 00:53:32,190 Det er en utrolig kraftfuld måde at nå store læringsmål, 1386 00:53:32,190 --> 00:53:33,600 mestre matematik til klassen 1387 00:53:33,600 --> 00:53:37,200 eller bidrage til det næste stort teknologisk gennembrud. 1388 00:53:37,200 --> 00:53:39,420 På brilliant lærer du ved at gøre, 1389 00:53:39,420 --> 00:53:41,220 en metode, som forskning har vist at være 1390 00:53:41,220 --> 00:53:43,380 langt mere effektivt end bare passiv læring. 1391 00:53:43,380 --> 00:53:45,210 Det starter dig på det rigtige niveau 1392 00:53:45,210 --> 00:53:47,520 baseret på din baggrund, designer øvelsessæt 1393 00:53:47,520 --> 00:53:49,620 og anmeldelser skræddersyet til dig. 1394 00:53:49,620 --> 00:53:52,470 Og så hjælper det dig frem i dit ideelle tempo. 1395 00:53:52,470 --> 00:53:55,230 Der er altid noget nyt at opdage på Brilliant. 1396 00:53:55,230 --> 00:53:56,940 Ønsker bedre at forstå optik 1397 00:53:56,940 --> 00:53:58,020 efter at have set denne video? 1398 00:53:58,020 --> 00:54:00,390 Nå, deres "videnskabelige Tænkekursus er 1399 00:54:00,390 --> 00:54:02,370 et godt sted at starte. 1400 00:54:02,370 --> 00:54:04,290 Det hjælper dig med at tænke som en ingeniør 1401 00:54:04,290 --> 00:54:05,880 ved at vise dig, hvordan du nedbryder 1402 00:54:05,880 --> 00:54:10,080 store begreber til mindre, mere forståelige stykker. 1403 00:54:10,080 --> 00:54:12,360 Uanset om du erobrer grundlæggende matematik, 1404 00:54:12,360 --> 00:54:13,980 algebra eller calculus, 1405 00:54:13,980 --> 00:54:15,900 dykke dybt ned i algoritmer, 1406 00:54:15,900 --> 00:54:17,520 udforske materialevidenskab 1407 00:54:17,520 --> 00:54:21,420 eller forstå fysikken som vil bringe os ud over EUV, 1408 00:54:21,420 --> 00:54:23,160 Brilliant hjælper dig med at komme dertil. 1409 00:54:23,160 --> 00:54:25,890 Og hvis du, ligesom jeg, har besluttet at lære mere 1410 00:54:25,890 --> 00:54:26,730 i det nye år, 1411 00:54:26,730 --> 00:54:29,040 så er Brilliant en stor måde at lave rent faktisk 1412 00:54:29,040 --> 00:54:30,360 at resolution stick. 1413 00:54:30,360 --> 00:54:31,920 Så for at lære gratis, 1414 00:54:31,920 --> 00:54:34,590 gå til brilliant.org/Veritasium, 1415 00:54:34,590 --> 00:54:36,300 scan QR-koden på skærmen, 1416 00:54:36,300 --> 00:54:38,490 eller klik på linket i beskrivelsen. 1417 00:54:38,490 --> 00:54:41,340 Brilliant har også givet vores seere 20% rabat 1418 00:54:41,340 --> 00:54:43,110 et årligt Premium abonnement, 1419 00:54:43,110 --> 00:54:45,210 som giver dig ubegrænset daglig adgang 1420 00:54:45,210 --> 00:54:47,100 til alt på Brilliant. 1421 00:54:47,100 --> 00:54:49,980 Så jeg vil gerne takke Brilliant for at sponsorere denne video 1422 00:54:49,980 --> 00:54:51,963 og jeg vil gerne takke dig, fordi du så med.